ভ্যাকুয়াম আবরণ নীতি

ভ্যাকুয়াম আবরণ বলতে বোঝায় ভ্যাকুয়ামে বাষ্পীভবন উৎসকে গরম করা এবং বাষ্পীভবন করা বা ত্বরিত আয়ন বোমাবাজি দিয়ে স্পুটারিং করা, এবং একটি একক-স্তর বা মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম তৈরি করতে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা করা। ভ্যাকুয়াম আবরণ নীতি কি? এর পরে, আরএসএম এর সম্পাদক আমাদের সাথে এটি পরিচয় করিয়ে দেবেন।

　　1. ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ

বাষ্পীভবন আবরণের জন্য বাষ্পীভবনের উৎস থেকে বাষ্পের অণু বা পরমাণুর মধ্যবর্তী দূরত্ব এবং আবরণ কক্ষের অবশিষ্ট গ্যাসের অণুগুলির গড় মুক্ত পথের চেয়ে কম হওয়া উচিত, যাতে নিশ্চিত করা যায় যে বাষ্পের অণুগুলি বাষ্পীভবন সংঘর্ষ ছাড়াই সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে পৌঁছাতে পারে। নিশ্চিত করুন যে ফিল্মটি খাঁটি এবং দৃঢ়, এবং বাষ্পীভবন অক্সিডাইজ হবে না।

　　2. ভ্যাকুয়াম স্পুটারিং আবরণ

ভ্যাকুয়ামে, যখন ত্বরিত আয়নগুলি কঠিন পদার্থের সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয়, তখন একদিকে, স্ফটিকটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়, অন্যদিকে, তারা স্ফটিক তৈরিকারী পরমাণুর সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয় এবং অবশেষে কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণু বা অণুগুলির সাথে সংঘর্ষ হয়। বাইরের দিকে থুতু। ছিদ্রযুক্ত উপাদান একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করার জন্য সাবস্ট্রেটের উপর প্রলেপ দেওয়া হয়, যাকে ভ্যাকুয়াম স্পাটার প্লেটিং বলা হয়। অনেকগুলি স্পটারিং পদ্ধতি রয়েছে, যার মধ্যে ডায়োড স্পাটারিং হল প্রাচীনতম। বিভিন্ন ক্যাথোড লক্ষ্য অনুসারে, এটি সরাসরি বর্তমান (ডিসি) এবং উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ) এ বিভক্ত করা যেতে পারে। একটি আয়ন দ্বারা লক্ষ্য পৃষ্ঠ প্রভাবিত করে পরমাণুর সংখ্যা sputtering হার বলা হয়. উচ্চ sputtering হার সঙ্গে, ফিল্ম গঠন গতি দ্রুত হয়. স্পুটারিং রেট শক্তি এবং আয়নের ধরন এবং লক্ষ্যবস্তুর প্রকারের সাথে সম্পর্কিত। সাধারণভাবে বলতে গেলে, মানুষের আয়ন শক্তি বৃদ্ধির সাথে স্পুটারিং রেট বৃদ্ধি পায় এবং মূল্যবান ধাতুগুলির স্পুটারিং রেট বেশি হয়।