উচ্চ বিশুদ্ধতা তামা লক্ষ্য উন্নয়ন সম্ভাবনা

বর্তমানে, আইসি শিল্পের জন্য প্রয়োজনীয় প্রায় সমস্ত উচ্চ-প্রান্তের অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা ধাতব তামার লক্ষ্যগুলি বেশ কয়েকটি বড় বিদেশী বহুজাতিক কোম্পানির একচেটিয়া অধিকারী। গার্হস্থ্য আইসি শিল্পের জন্য প্রয়োজনীয় সমস্ত আল্ট্রাপিওর কপার টার্গেট আমদানি করতে হবে, যা শুধুমাত্র ব্যয়বহুল নয়, আমদানি পদ্ধতিতেও জটিল তাই, চীনকে অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা (6N) তামার স্পুটারিং লক্ষ্যগুলির উন্নয়ন এবং যাচাইকরণকে জরুরিভাবে উন্নত করতে হবে। . আসুন অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা (6N) তামার স্পুটারিং লক্ষ্যগুলির বিকাশের মূল পয়েন্ট এবং অসুবিধাগুলি একবার দেখে নেওয়া যাক।

1,অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা উপকরণ উন্নয়ন

চীনে উচ্চ-বিশুদ্ধতার কিউ, আল এবং টা ধাতুগুলির পরিশোধন প্রযুক্তি শিল্প উন্নত দেশগুলির থেকে অনেক দূরে। বর্তমানে, বেশিরভাগ উচ্চ-বিশুদ্ধ ধাতুগুলি সরবরাহ করা যেতে পারে যা শিল্পের প্রচলিত সমস্ত উপাদান বিশ্লেষণ পদ্ধতি অনুসারে স্পুটারিং লক্ষ্যগুলির জন্য সমন্বিত সার্কিটের গুণমানের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে না। লক্ষ্যে অন্তর্ভুক্তির সংখ্যা খুব বেশি বা অসমভাবে বিতরণ করা হয়েছে। স্পুটারিংয়ের সময় ওয়েফারে প্রায়শই কণা তৈরি হয়, যার ফলে শর্ট সার্কিট বা ইন্টারকানেক্টের ওপেন সার্কিট হয়, যা ফিল্মের কর্মক্ষমতাকে মারাত্মকভাবে প্রভাবিত করে।

2,তামার স্পুটারিং লক্ষ্য প্রস্তুতি প্রযুক্তির উন্নয়ন

তামার স্পুটারিং লক্ষ্য প্রস্তুতি প্রযুক্তির বিকাশ প্রধানত তিনটি দিকের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে: শস্যের আকার, অভিযোজন নিয়ন্ত্রণ এবং অভিন্নতা। সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের লক্ষ্যমাত্রা স্পুটারিং এবং কাঁচামাল বাষ্পীভূত করার জন্য সর্বোচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। পৃষ্ঠের শস্যের আকার এবং লক্ষ্যের স্ফটিক অভিযোজন নিয়ন্ত্রণের জন্য এটির খুব কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। লক্ষ্যের শস্যের আকার অবশ্যই 100 এ নিয়ন্ত্রণ করতে হবেμ এম নীচে, অতএব, শস্যের আকার নিয়ন্ত্রণ এবং পারস্পরিক সম্পর্ক বিশ্লেষণ এবং সনাক্তকরণের উপায়গুলি ধাতব লক্ষ্যগুলির বিকাশের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

3,বিশ্লেষণ উন্নয়ন এবংপরীক্ষা প্রযুক্তি

লক্ষ্যের উচ্চ বিশুদ্ধতা মানে অমেধ্য হ্রাস। অতীতে, ইন্ডাকটিভলি কাপলড প্লাজমা (ICP) এবং পারমাণবিক শোষণ স্পেকট্রোমেট্রি অমেধ্য নির্ধারণের জন্য ব্যবহার করা হত, কিন্তু সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, উচ্চ সংবেদনশীলতার সাথে গ্লো ডিসচার্জ কোয়ালিটি অ্যানালাইসিস (GDMS) ধীরে ধীরে স্ট্যান্ডার্ড হিসাবে ব্যবহার করা হয়েছে। পদ্ধতি. অবশিষ্ট প্রতিরোধের অনুপাত RRR পদ্ধতিটি প্রধানত বৈদ্যুতিক বিশুদ্ধতা নির্ধারণের জন্য ব্যবহৃত হয়। এর সংকল্প নীতি হল অমেধ্য ইলেকট্রনিক বিচ্ছুরণের মাত্রা পরিমাপ করে বেস মেটালের বিশুদ্ধতা মূল্যায়ন করা। কারণ এটি ঘরের তাপমাত্রা এবং খুব কম তাপমাত্রায় প্রতিরোধের পরিমাপ করা হয়, সংখ্যাটি নেওয়া সহজ। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, ধাতুর সারাংশ অন্বেষণ করার জন্য, অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতার উপর গবেষণা খুব সক্রিয়। এই ক্ষেত্রে, RRR মান বিশুদ্ধতা মূল্যায়নের সর্বোত্তম উপায়।