স্পটারিং টার্গেটে ফাটল সাধারণত সিরামিক স্পাটারিং টার্গেট যেমন অক্সাইড, কার্বাইড, নাইট্রাইড এবং ক্রোমিয়াম, অ্যান্টিমনি, বিসমাথের মতো ভঙ্গুর পদার্থে ঘটে। এখন আরএসএম-এর কারিগরি বিশেষজ্ঞরা ব্যাখ্যা করুন কেন স্পাটারিং টার্গেট ফাটল এবং এই পরিস্থিতি এড়াতে কী প্রতিরোধমূলক ব্যবস্থা নেওয়া যেতে পারে।
সিরামিক বা ভঙ্গুর উপাদান লক্ষ্য সবসময় সহজাত চাপ ধারণ করে. এই অভ্যন্তরীণ চাপগুলি লক্ষ্য উত্পাদন প্রক্রিয়াতে তৈরি হয়। উপরন্তু, এই চাপ সম্পূর্ণরূপে annealing প্রক্রিয়া দ্বারা নির্মূল করা হয় না, কারণ তারা এই উপকরণ সহজাত বৈশিষ্ট্য. স্পুটারিং প্রক্রিয়ায়, গ্যাস আয়নগুলির বোমাবর্ষণ তাদের ভরবেগকে লক্ষ্য পরমাণুতে স্থানান্তরিত করে, তাদের জালি থেকে আলাদা করার জন্য যথেষ্ট শক্তি সরবরাহ করে। এই এক্সোথার্মিক ভরবেগ স্থানান্তর লক্ষ্য তাপমাত্রা বৃদ্ধি করে, যা পারমাণবিক স্তরে 1000000 ℃ পৌঁছতে পারে।
এই তাপীয় শকগুলি লক্ষ্যে বিদ্যমান অভ্যন্তরীণ চাপকে বহুগুণে বাড়িয়ে দেয়। এই ক্ষেত্রে, যদি তাপ সঠিকভাবে ছড়িয়ে না যায়, তাহলে লক্ষ্য ভেঙ্গে যেতে পারে। লক্ষ্য ফাটল থেকে রক্ষা করার জন্য, তাপ অপচয়ের উপর জোর দেওয়া উচিত। লক্ষ্য থেকে অবাঞ্ছিত তাপ শক্তি অপসারণের জন্য একটি জল শীতল প্রক্রিয়া প্রয়োজন। বিবেচনা করার আরেকটি বিষয় হল ক্ষমতা বৃদ্ধি। অল্প সময়ের মধ্যে অত্যধিক শক্তি প্রয়োগ করা লক্ষ্যে তাপীয় শক সৃষ্টি করবে। উপরন্তু, আমরা এই লক্ষ্যগুলিকে ব্যাকপ্লেনে আবদ্ধ করার পরামর্শ দিই, যা শুধুমাত্র লক্ষ্যমাত্রার জন্য সমর্থন প্রদান করতে পারে না, তবে লক্ষ্য এবং জলের মধ্যে আরও ভাল তাপ বিনিময়কেও উন্নীত করতে পারে। যদি লক্ষ্যে ফাটল থাকে তবে পিছনের প্লেটের সাথে বন্ধন থাকে তবে এটি এখনও ব্যবহার করা যেতে পারে।
রিচ স্পেশাল ম্যাটেরিয়ালস কো., লিমিটেড ব্যাকপ্লেন সহ স্পুটারিং টার্গেট প্রদান করতে পারে। এটি উপাদান, বেধ এবং বন্ধন প্রকারের গ্রাহকদের প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।
পোস্টের সময়: সেপ্টেম্বর-21-2022