Сега все повече потребители разбират видовете цели инеговите приложения, но подразделението му може да не е много ясно. Сега некаRSM инженер споделям с васнякаква индукция на мишени за магнетронно разпръскване.
Мишена за разпръскване: мишена за метално разпрашващо покритие, мишена за разпръскване от сплав, мишена за керамично разпръскване, мишена за разпръскване от боридна керамика, мишена за разпръскване от карбидна керамика, мишена за разпръскване от флуоридна керамика, нитридна керамична мишена, оксидна керамична мишена, селенидна керамична мишена за разпръскване, силицидна керамична мишена цел, сулфидна керамична мишена за разпръскване, телуридна керамична мишена за разпръскване, други керамични мишени, керамична мишена с добавка на хром силициев оксид (CR SiO), мишена от индиев фосфид (INP), мишена от оловен арсенид (pbas), мишена от индиев арсенид (InAs).
Магнетронното разпръскване обикновено се разделя на два типа: разпръскване с постоянен ток и радиочестотно разпръскване. Принципът на оборудването за разпръскване с постоянен ток е прост и неговата скорост също е бърза при разпръскване на метал. RF разпръскването е широко използвано. В допълнение към разпръскването на проводими данни, той може да разпръсква и непроводими данни. Мишената за разпрашаване може също да се използва за реактивно разпрашаване за получаване на данни за съединения като оксиди, нитриди и карбиди. Ако RF честотата се увеличи, това ще се превърне в микровълново плазмено разпръскване. Понастоящем обикновено се използва микровълново плазмено разпръскване с електронен циклотронен резонанс (ECR).
Време на публикуване: 26 май 2022 г