Целта има широк пазар, област на приложение и голямо развитие в бъдеще. За да ви помогне да разберете по-добре целевите функции, тук по-долу RSM инженерът ще представи накратко основните функционални изисквания на целта.
Чистота: чистотата е един от основните функционални показатели на целта, тъй като чистотата на целта има голямо влияние върху функцията на филма. При практическо приложение обаче изискванията за чистота на целта също са различни. Например, с бързото развитие на индустрията за микроелектроника, размерът на силициевата пластина се разширява от 6 „на 8″ до 12“, а ширината на окабеляването е намалена от 0,5um на 0,25um, 0,18um или дори 0,13um. Преди това 99,995% от целевата чистота можеше да отговори на изискванията на процеса от 0,35 umic, докато подготовката на 0,18 um линии изисква 99,999% или дори 99,9999% от целевата чистота.
Съдържание на примеси: примесите в целевите твърди вещества и кислородът и водните пари в порите са основните източници на замърсяване на отложените филми. Мишените за различни цели имат различни изисквания за различно съдържание на примеси. Например мишените от чист алуминий и алуминиеви сплави, използвани в полупроводниковата индустрия, имат специални изисквания за съдържание на алкални метали и съдържание на радиоактивни елементи.
Плътност: за да се намалят порите в целевото твърдо вещество и да се подобри функцията на разпрашващия филм, обикновено се изисква целта да има висока плътност. Плътността на целта не само влияе върху скоростта на разпръскване, но също така влияе върху електрическите и оптичните функции на филма. Колкото по-висока е целевата плътност, толкова по-добра е функцията на филма. В допълнение, плътността и здравината на мишената са подобрени, така че мишената да може по-добре да приеме топлинния стрес в процеса на разпръскване. Плътността също е един от ключовите функционални показатели на целта.
Време на публикуване: 20 май 2022 г