Относно приложението и принципа на технологията за разпръскване на мишена, някои клиенти са се консултирали с RSM, сега за този проблем, който е по-загрижен, технически експерти споделят някои специфични свързани знания.
Разпрашване на целево приложение:
Зареждащи се частици (като аргонови йони) бомбардират твърда повърхност, карайки повърхностни частици, като атоми, молекули или снопове да избягат от повърхността на обекта, феномен, наречен „разпръскване“. При магнетронно разпрашено покритие, положителните йони, генерирани от аргонова йонизация, обикновено се използват за бомбардиране на твърдото вещество (мишена), а разпръснатите неутрални атоми се отлагат върху субстрата (заготовката), за да образуват филмов слой. Покритието с магнетронно разпрашване има две характеристики: „ниска температура“ и „бързо“.
Принцип на магнетронно разпръскване:
Ортогонално магнитно поле и електрическо поле се добавят между разпръснатия целеви полюс (катод) и анода и необходимият инертен газ (обикновено Ar газ) се напълва във високовакуумната камера. Постоянният магнит образува магнитно поле от 250-350 Gauss върху повърхността на целевия материал и образува ортогонално електромагнитно поле с електрическото поле с високо напрежение.
Под действието на електрическо поле газът Ar се йонизира в положителни йони и електрони и има известно отрицателно високо налягане върху мишената, така че електроните, излъчени от целевия полюс, се влияят от магнитното поле и вероятността за йонизация на работата газът се увеличава. В близост до катода се образува плазма с висока плътност и Ar йони се ускоряват до повърхността на мишената под действието на силата на Лоренц и бомбардират повърхността на мишената с висока скорост, така че разпръснатите атоми на мишената да избягат от повърхността на мишената с висока скорост. кинетична енергия и летят към субстрата, за да образуват филм според принципа на преобразуване на импулса.
Магнетронното разпрашване обикновено се разделя на два вида: разпръскване с постоянен ток и радиочестотно разпръскване. Принципът на оборудването за разпръскване с постоянен ток е прост и скоростта е бърза при разпръскване на метал. Използването на радиочестотно разпръскване е по-широко, в допълнение към разпръскване на проводящи материали, но също и разпръскване на непроводими материали, но също така и реактивно разпръскване на подготовка на оксиди, нитриди и карбиди и други сложни материали. Ако честотата на RF се увеличи, тя се превръща в микровълново плазмено разпръскване. Понастоящем обикновено се използва микровълново плазмено разпръскване с електронен циклотронен резонанс (ECR).
Време на публикуване: 01 август 2022 г