Огнеупорните волфрамови метали и волфрамови сплави имат предимствата на висока температурна стабилност, висока устойчивост на миграция на електрони и висок коефициент на емисия на електрони. Мишените от волфрам и волфрамова сплав с висока чистота се използват главно за производство на затворни електроди, свързващо окабеляване, дифузионни бариерни слоеве на полупроводникови интегрални схеми. Те имат много високи изисквания за чистота, съдържание на примесни елементи, плътност, размер на зърната и еднаква зърнеста структура на материалите. Нека да разгледаме факторите, влияещи върху подготовката на мишена от волфрам с висока чистотаby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Влияние на температурата на синтероване
Процесът на формиране на волфрамов целеви ембрион обикновено се извършва чрез студено изостатично налягане. Волфрамовото зърно ще нарасне по време на синтероването. Растежът на волфрамовите зърна ще запълни празнината между кристалните граници, като по този начин ще увеличи плътността на волфрамовата цел. С увеличаването на времето за синтероване, увеличаването на плътността на волфрамовата мишена се забавя постепенно. Основната причина е, че качеството на волфрамовия целеви материал не се е променило много след няколко процеса на синтероване. Тъй като повечето от кухините в кристалната граница са запълнени от волфрамови кристали, общата скорост на промяна на размера на волфрамовата цел е много малка след всеки процес на синтероване, което води до ограничено пространство за увеличаване на плътността на волфрамовата цел. Докато синтероването продължава, големите волфрамови зърна се запълват в кухините, което води до по-плътна цел с по-малък размер.
2. Ефект наhяде консервиране Време
При същата температура на синтероване, компактността на волфрамовия целеви материал се подобрява с увеличаването на времето за синтероване. С увеличаването на времето за синтероване размерът на волфрамовите зърна се увеличава, а с удължаването на времето за синтероване факторът на растеж на размера на зърната постепенно се забавя. Това показва, че увеличаването на времето за синтероване може също да подобри производителността на волфрамова цел.
3. Ефект от търкалянето върху Target Pпроизводителност
За да се подобри плътността на волфрамовите целеви материали и да се получи структурата на обработка на волфрамовите целеви материали, среднотемпературното валцуване на волфрамовите целеви материали трябва да се извърши под температурата на рекристализация. Когато температурата на валцуване на целевата заготовка е висока, структурата на влакната на целевата заготовка е по-дебела, докато тази на целевата заготовка е по-фина. Когато добивът на горещо валцуване е над 95%. Въпреки че разликата в структурата на влакната, причинена от различното оригинално зърно на синтероване или температурата на валцуване, ще бъде елиминирана, по-хомогенна структура на влакната ще се формира вътре в целта, така че колкото по-висока е скоростта на обработка на топло валцуване, толкова по-добра е производителността на целта.
Време на публикуване: 5 май 2022 г