Много потребители не разглеждат закупуването на цели от професионална гледна точка, така че на какво трябва да се обърне внимание при закупуване на цели? Нека помолим Xiaobian от Пекин Ruichi да посочи въпросите, които изискват внимание при закупуването на мишени.
Първо, за целта чистотата е един от нейните основни функционални показатели и чистотата на целта има голямо влияние върху функцията на по-късния филм на продукта. Всеки продукт също има различни изисквания за чистота на целта.
Второ, съдържанието на примеси на отделните елементи в целта. След серия от целеви обработки, примесите в целевото твърдо вещество и кислородът и водните пари в порите са основните източници на замърсяване на отложените филми. Поради различните употреби на мишените, изискванията за различно съдържание на примеси в мишените с различни употреби също са различни. Например мишените от чист алуминий и алуминиеви сплави, използвани в полупроводниковата индустрия, вече имат специални изисквания за съдържанието на алкални метали и радиоактивни елементи.
Плътността също е един от важните показатели за ефективност на мишената В техническия процес на мишената, за да се намалят порите в целевото твърдо вещество и да се подобри функцията на разпръснатия филм, обикновено се изисква мишената да има висока плътност. Основната характерна плътност на мишената има голямо влияние върху скоростта на разпръскване и влияе върху електрическите и оптичните функции на филма. Колкото по-висока е целевата плътност, толкова по-добра е функцията на филма.
И накрая, размерът на зърното и разпределението на зърното. Обикновено целевият материал е поликристален и размерът на зърното може да варира от микрон до милиметър. За една и съща мишена скоростта на разпръскване на мишена с фини зърна е по-бърза от тази на мишена с груби зърна; Дебелината на филмите, отложени чрез целево разпрашване с малка разлика в размера на зърното (равномерна дисперсия), е по-равномерна.
Време на публикуване: 10 юни 2022 г