Ниобиевите целеви материали се използват главно в оптични покрития, покрития на повърхностни инженерни материали и индустрии за нанасяне на покрития като устойчивост на топлина, устойчивост на корозия и висока проводимост. В областта на оптичното покритие се прилага главно в офталмологични оптични продукти, лещи, прецизна оптика, покритие с голяма площ, 3D покритие и други аспекти.
Материалът на ниобиевата мишена обикновено се нарича гола мишена. Първо се заварява към медната задна мишена и след това се разпрашава, за да отложи ниобиеви атоми под формата на оксиди върху субстратния материал, постигайки разпръскващо покритие. С непрекъснатото задълбочаване и разширяване на ниобиевата целева технология и приложение, изискванията за еднаквост на ниобиевата целева микроструктура се увеличиха, което се проявява главно в три аспекта: усъвършенстване на размера на зърното, липса на очевидна ориентация на текстурата и подобрена химическа чистота.
Равномерното разпределение на микроструктурата и свойствата в целта е от решаващо значение за осигуряване на ефективността на разпрашаване на ниобиеви целеви материали. Повърхността на ниобиеви мишени, които се срещат в промишленото производство, обикновено показва правилни модели, които значително влияят на ефективността на разпрашаване на мишените. Как можем да подобрим степента на използване на целите?
Чрез изследвания беше установено, че съдържанието на примеси (целева чистота) е важен фактор, влияещ върху чистотата. Химическият състав на суровините е неравномерен, а примесите са обогатени. След по-късна обработка с валцуване се образуват правилни шарки върху повърхността на ниобиевия целеви материал; Елиминирането на неравномерното разпределение на компонентите на суровините и обогатяването с примеси може да избегне образуването на правилни шарки върху повърхността на ниобиеви мишени. Влиянието на размера на зърното и структурния състав върху целевия материал може да бъде почти незначително.
Време на публикуване: 19 юни 2023 г