Поради високата температурна стабилност, високото съпротивление на миграция на електрони и високия коефициент на емисия на електрони на огнеупорния волфрам и волфрамови сплави, мишените от волфрам и волфрамова сплав с висока чистота се използват главно за производство на затворни електроди, свързващо окабеляване, дифузионни бариерни слоеве и др. на полупроводници интегрални схеми и имат високи изисквания за чистота, съдържание на примесни елементи, плътност, размер на зърното и еднородност на зърнената структура на материалите. Сега нека да разгледаме факторите, които влияят върху подготовката на волфрамова мишена с висока чистота.
1、 Ефект на температурата на синтероване
Процесът на формиране на волфрамовия целеви ембрион обикновено се извършва чрез студено изостатично пресоване. Волфрамовото зърно ще расте по време на процеса на синтероване. Растежът на волфрамовото зърно ще запълни празнината между границите на зърното, като по този начин ще подобри плътността на волфрамовата цел. С увеличаване на времето за синтероване, увеличаването на плътността на волфрамовата цел постепенно се забавя. Основната причина е, че след многократно синтероване качеството на волфрамовата цел не се е променило много. Тъй като повечето от кухините в границата на зърното са запълнени с волфрамови кристали, след всяко синтероване общата скорост на промяна на размера на волфрамовата мишена е много малка, което води до ограничено пространство за увеличаване на плътността на волфрамовата мишена. С процеса на синтероване, порасналите волфрамови зърна се запълват в кухините, което води до по-висока плътност на целта с по-малък размер на частиците.
2、 Ефект от времето на задържане
При същата температура на синтероване, компактността на волфрамовата цел ще бъде подобрена с удължаване на времето за задържане на синтероване. С удължаването на времето на задържане, размерът на волфрамовите зърна ще се увеличи, а с удължаването на времето на задържане, времето за растеж на размера на зърната постепенно ще се забави, което означава, че увеличаването на времето на задържане може също да подобри работата на волфрамова цел.
3、 Ефект от търкалянето върху целевите свойства
За да се подобри плътността на волфрамовия целеви материал и да се получи структурата за обработка на волфрамовия целеви материал, среднотемпературното валцуване на волфрамовия целеви материал трябва да се извърши под температурата на рекристализация. Ако температурата на валцоване на целевата заготовка е висока, структурата на влакната на целевата заготовка ще бъде груба и обратното. Когато скоростта на топло валцуване достигне повече от 95%. Въпреки че разликата в структурата на влакната, причинена от различни оригинални зърна или различни температури на валцоване, ще бъде елиминирана, вътрешната структура на целта ще образува относително еднаква структура на влакната, така че колкото по-висока е скоростта на обработка на топло валцуване, толкова по-добра е производителността на целта
Време на публикуване: 15 февруари 2023 г