За да се подпомогне производството на пиезоелектрически MEMS (pMEMS) сензор и радиочестотни (RF) филтриращи компоненти на базата на филм, алуминиевата скандиева сплав, произведена от Rich Special Material Co., Ltd., се използва специално за реактивно отлагане на филми от алуминиев нитрид, легирани със скандий . т...
Прочетете повече