Основни свойства на материала за мишени за разпрашаване

Сега трябва да сме много запознати с целта, сега целевият пазар също се увеличава, ето какво е основното представяне на целта за разпръскване, споделено от редактора от RSM

　　Чистотата

Чистотата на целевия материал е един от основните показатели за ефективност, тъй като чистотата на целевия материал има голямо влияние върху работата на тънкия филм. При практическо приложение обаче изискванията за чистота на целевите материали не са еднакви. Например, с бързото развитие на микроелектронната индустрия, размерът на силициевия чип е разработен от 6“, 8“ до 12″, а ширината на окабеляването е намалена от 0,5um на 0,25um, 0,18um или дори 0,13um. Преди това чистотата на 99,995% целеви материал може да отговори на изискванията на процеса от 0,35umIC. Чистотата на целевия материал е 99,999% или дори 99,9999% за подготовката на 0,18um линии.

　　Съдържание на примеси

Примесите в целевото твърдо вещество и кислородът и водните пари в порите са основните източници на замърсяване при отлагане на филм. Целевите материали за различни цели имат различни изисквания за различно съдържание на примеси. Например мишените от чист алуминий и алуминиеви сплави, използвани в полупроводниковата индустрия, имат специални изисквания за съдържанието на алкални метали и радиоактивни елементи.

　　Плътността

За да се намали порьозността в целевото твърдо вещество и да се подобри работата на разпръскващия филм, обикновено се изисква висока плътност на мишената. Плътността на мишената влияе не само върху скоростта на разпръскване, но и върху електрическите и оптичните свойства на филма. Колкото по-висока е целевата плътност, толкова по-добра е производителността на филма. В допълнение, увеличаването на плътността и здравината на целта прави целта по-добре да издържа на топлинния стрес в процеса на разпръскване. Плътността също е един от ключовите показатели за ефективност на целта.

　　Зърнометрия и зърнометричен състав

Мишената обикновено е поликристална с размер на зърното, вариращ от микрометър до милиметър. За една и съща мишена скоростта на разпръскване на мишената с малки зърна е по-бърза от тази на мишената с големи зърна. Разпределението на дебелината на филмите, отложени чрез мишена за разпрашаване с по-малка разлика в размера на зърното (равномерно разпределение), е по-равномерно.