Мишена от итрий с висока чистота — важен член на PVD покритието

Какво представлява целта за разпръскване на итрий?
Мишената от итрий се произвежда главно от мишената за разпръскване на металния елемент итрий, тъй като итриевият елемент (Y) е един от редкоземните метални елементи, така че итриевата мишена е известна също като редкоземна мишена.
Мишените от итрий се използват главно в технологията за отлагане чрез разпрашаване. Технологията за отлагане чрез разпрашаване е една от технологиите за физическо отлагане на пари (PVD) и е една от основните технологии за подготовка на електронни тънкослойни материали. Чрез бомбардиране на повърхността на мишената с високоенергийни частици (като йони или електронни лъчи), целевите атоми или молекули се разпръскват и отлагат върху друг субстрат, за да образуват желания филм или покритие.
Итриевата мишена е просто изходният материал за желания филм или покритие, приготвени чрез PVD технологията.

Какво енамишена за разпръскване на итрий, използвана за?

Мишените с итрий имат широк спектър от приложения в няколко области, следните са основните области на приложение:

1. Полупроводникови материали: В полупроводниковата индустрия итриевите мишени се използват за производство на специфични слоеве в полупроводникови материали или електронни компоненти, като транзистори, интегрални схеми и др.
2. Оптично покритие: В областта на оптиката итриевите мишени могат да се използват за получаване на оптични покрития с висок индекс на пречупване и ниска скорост на разсейване, които играят важна роля в производството на оптични устройства като лазери и оптични филтри.
3. Отлагане на тънък филм: Мишената от итрий заема важна позиция в технологията за отлагане на тънък филм и неговата висока чистота, добра стабилност и специфични физични и химични свойства го правят идеален избор за приготвяне на различни тънкослойни материали. Тези тънкослойни материали имат широк спектър от приложения в оптични, електронни, магнитни и други полета.
4. Област на медицината: итриевите мишени имат важни приложения в радиационната медицина, като източник на рентгенови лъчи и гама лъчи, образна диагностика (като компютърна томография) и лъчева терапия. В допълнение, специфични изотопи на итрий (като Y-90) също могат да се използват в радиофармацевтици за целево лечение на специфични видове рак.
5. Промишленост за ядрена енергия: В ядрените реактори итриевите мишени се използват като лостови материали за контролиране на скоростта и стабилността на ядрените реакции поради техния отличен капацитет за поглъщане на неутрони.

Забележка: Тъй като изискванията за ефективност на итриевите мишени в различните области на приложение може да са различни, подходящата мишена трябва да бъде избрана според действителната ситуация в конкретното приложение. (Като специфична чистота, съотношение на състава, размер, форма и т.н., персонализирани според специфични изисквания.)

Технология на производство на мишени за разпръскване на итрий?

1. Пригответе итриев прах 2. HIP, пресоване 3. Синтероване при висока температура 4. Последваща обработка (рязане, полиране и др.) 5. Почистване и опаковане

Забележка: Освен горните основни стъпки, в зависимост от специфичния метод на подготовка и нуждите на приложението, мишените за разпрашаване на итрий могат да включват и други стъпки и технологии, като метод на разпрашаване, метод на вакуумно топене и т.н. Тези методи помагат за допълнително регулиране и оптимизиране на изпълнение и структура на целевия материал.

Как да изберем висококачествена цел за разпръскване?

По-долу са изброени 7-те важни фактора за избор на висококачествени цели за разпръскване:

1. Здравейgh чистота

Мишените с висока чистота имат по-добри свойства на материала и по-стабилни физични и химични свойства, което е от съществено значение за гарантиране на качеството и ефективността на разпръскващите покрития. Специфичните изисквания за чистота трябва да се определят според сценария на приложение, някои прости сценарии на приложение не трябва да преследват свръхвисока чистота, за да не се увеличат ненужните разходи. Това, което ви подхожда, е най-доброто.

2.Стабилност

Стабилността на целта е също толкова важна, което може да избегне загуба на материал или колебания в производителността по време на разпръскване. Следователно, при избора, човек избира тази специална обработка или има добра стабилност на продукта.

3.Размер и форма

Размерът и формата на мишената за разпрашаване трябва да бъдат избрани според специфичните изисквания на оборудването за нанасяне на покритие, за да се адаптират към различните процеси на разпрашаване и производствени нужди. Осигуряването на съвпадение на мишената с оборудването увеличава ефективността на разпръскване и намалява отпадъците.

4.Плътност

Плътността е един от важните показатели за измерване на качеството на целевия материал. Целевият материал с висока плътност може да осигури по-добър ефект на разпръскване. Когато избирате, трябва да обърнете внимание на данните за плътността на целта и да се опитате да изберете продукти с по-висока плътност.

5. Точност на обработка

Точността на обработка на мишената също е един от факторите, които трябва да се имат предвид. Като цяло се изисква точността на обработка на мишената да бъде в рамките на ±0,1 mm, за да се гарантира стабилността на процеса на разпрашаване и еднаквостта на качеството на покритието.

6. Специални изисквания

За някои специални сценарии на приложение, като необходимостта от висока пропускливост на светлина, ниска абсорбция на целта (оптично покритие) или висока проводимост, висока стабилност на целта (електронно поле), трябва да се избере според специфичните нужди на съответната цел тип.

7. Изберете професионален производител или доставчик.