Както всички знаем, има много спецификации на мишени за разпръскване и техните области на приложение също са много широки. Типовете мишени, които обикновено се използват в различни области, също са различни. Днес нека научим повече за класификацията на полетата за приложение на мишени за разпрашаване с редактора на RSM!
1、 Дефиниция на целта за разпръскване
Разпрашването е една от основните технологии за получаване на тънкослойни материали. Той използва йоните, произведени от източника на йони, за да се ускори и събере във вакуум, за да образува високоскоростен йонен лъч, бомбардира твърдата повърхност и йоните обменят кинетична енергия с атомите на твърдата повърхност, така че атомите на твърдото вещество повърхност се отделят от твърдото вещество и се отлагат върху повърхността на субстрата. Бомбардираното твърдо вещество е суровината за приготвяне на тънкия филм, отложен чрез разпръскване, който се нарича мишена за разпръскване.
2、 Класификация на полетата за приложение на целта за разпрашаване
1. Полупроводникова цел
(1) Общи цели: често срещаните цели в тази област включват метали с висока точка на топене като тантал / мед / титан / алуминий / злато / никел.
(2) Употреба: използва се главно като ключови суровини за интегрални схеми.
(3) Изисквания за изпълнение: високи технически изисквания за чистота, размер, интеграция и др.
2. Цел за дисплей с плосък панел
(1) Общи цели: общите цели в тази област включват алуминий / мед / молибден / никел / ниобий / силиций / хром и др.
(2) Употреба: този вид цел се използва най-вече за различни видове филми с голяма площ, като телевизори и преносими компютри.
(3) Изисквания за изпълнение: високи изисквания за чистота, голяма площ, еднородност и др.
3. Целеви материал за соларна клетка
(1) Общи цели: алуминий / мед / молибден / хром /ITO/Ta и други цели за слънчеви клетки.
(2) Употреба: използва се главно в „прозоречен слой“, бариерен слой, електрод и проводящ филм.
(3) Изисквания за изпълнение: високи технически изисквания и широк диапазон на приложение.
4. Цел за съхранение на информация
(1) Общи мишени: общи мишени от кобалт / никел / феросплав / хром / телур / селен и други материали за съхранение на информация.
(2) Употреба: този вид целеви материал се използва главно за магнитната глава, средния слой и долния слой на оптичното устройство и оптичния диск.
(3) Изисквания за производителност: изискват се висока плътност на съхранение и висока скорост на предаване.
5. Цел за модификация на инструмента
(1) Общи мишени: обичайни мишени като титан/цирконий/хром алуминиева сплав, модифицирана с инструменти.
(2) Употреба: обикновено се използва за укрепване на повърхността.
(3) Изисквания за производителност: високи изисквания за производителност и дълъг експлоатационен живот.
6. Мишени за електронни устройства
(1) Общи мишени: обикновени мишени от алуминиева сплав/силицид за електронни устройства
(2) Предназначение: обикновено се използва за тънкослойни резистори и кондензатори.
(3) Изисквания за ефективност: малък размер, стабилност, нисък температурен коефициент на съпротивление
Време на публикуване: 27 юли 2022 г