За да се подпомогне производството на пиезоелектрически MEMS (pMEMS) сензор и радиочестотни (RF) филтриращи компоненти на базата на филм, алуминиевата скандиева сплав, произведена от Rich Special Material Co., Ltd., се използва специално за реактивно отлагане на филми от алуминиев нитрид, легирани със скандий .
Тънкослойните пиезоелектрични материали се използват все повече в автомобилното, индустриалното и личното електронно оборудване. Приложенията включват базирани на pmt сензори за пръстови отпечатъци и устройства за разпознаване на жестове, MEMS микрофони, базирани на резонатори химически сензори и медицински сензори. В допълнение, филмите от алуминиев нитрид, легирани със скандий, са все по-необходими за реализиране на RF филтри за 5G мрежови приложения. В същото време количеството алуминиева скандиева сплав се увеличава.
Свойства на сплавта Al Sc
Силно постоянна химическа хомогенност в цялата сплав
Силно постоянна химическа хомогенност на филма през целия живот на чипа и сплавта
Чистота>99,9%, ниско съдържание на кислород, ниско съдържание на критични замърсители
Контролирайте стриктно микроструктурата, за да постигнете най-доброто представяне на разпръскване
Вакуумно отлята, напълно плътна сплав с ниска адхезия, ниска променливост и ниска гранулация
Rich Special Material Co., Ltd. поддържа разнообразни услуги за топене на сплави, персонализиране на цели и R&D услуги.
Време на публикуване: 11 ноември 2022 г