Технически консултант на RSM ще сподели с вас предимствата на цилиндричните и планарни магнетронни разпрашващи мишени? В сравнение с други мишени за магнетронно разпръскване, цилиндричните и планарни мишени за магнетронно разпръскване запазват предимствата на добрата равномерност на покритието на правоъгълни планарни мишени и могат да увеличат максимално използването на мишените по следните два начина:
(1) Когато двете групи (четири) пръстеновидни вдлъбнатини на повърхността на мишената достигнат определена дълбочина, сърцевината на мишената (магнитната част) може да се завърти на 45 ° спрямо целевата тръба, така че другите области на целевата тръба които не са корозирали могат да се използват;
(2) Когато сърцевината на мишената на цилиндричната и плоска магнетронна мишена за разпръскване е проектирана като въртяща се сърцевина на мишената (ядрото на мишената се върти по време на разпръскване), повърхността на мишената може да бъде равномерно разпръсната слой по слой без вдлъбнатини. По това време целта ще се използва най-ефективно и степента на използване на целта може да достигне 50% ~ 60% Когато целевият материал е благороден метал, това очевидно е от голямо значение.
Чрез използване на принципа на магнит с полюсна обувка в коаксиална цилиндрична магнетронна разпрашваща мишена за решаване на проблема с крайното магнитно поле, правоъгълната равнинна мишена може да се трансформира в цилиндрична и плоска магнетронна разпръскваща мишена, целта може да увеличи максимално степента на използване на целта като същевременно се запазва добрата равномерност на покритието на правоъгълната равнина на целта, за да се подобрят икономическите ползи.
Време на публикуване: 04 юли 2022 г