Цяпер усё больш карыстальнікаў разумеюць тыпы мішэняў іяго прымяненне, але яго падраздзяленне можа быць не вельмі зразумелым. Зараз давайцеІнжынер РСМ падзяліцца з вамінейкая індукцыя мішэняў магнетроннага распылення.
Мішэнь для распылення: металічная мішэнь з напыленнем, мішэнь з напыленнем са сплаву, мішэнь з керамічным напыленнем, мішэнь з борыднай керамікі, мішэнь з карбіду, кераміка з фтарыду, мішэнь з нітрыду, кераміка з аксіду, мішэнь з селеніду, кераміка з сіліцыду. мэта, сульфідна-керамічная мішэнь для напылення, тэлурыдная керамічная мішэнь для напылення, іншыя керамічныя мішэні, керамічная мішэнь з аксіду крэмнію, легіраваная хромам (CR SiO), мішэнь з фасфіду індыя (INP), мішэнь з арсеніду свінцу (pbas), мішэнь з арсеніду індыя (InAs).
Магнетроннае распыленне звычайна падзяляецца на два тыпы: напыленне пастаянным токам і радыёчастотнае напыленне. Прынцып абсталявання для распылення пастаяннага току просты, і яго хуткасць таксама высокая пры распыленні металу. Шырока выкарыстоўваецца радыёчастотнае напыленне. У дадатак да распылення токаправодных дадзеных, ён можа таксама распыляць неправодныя даныя. Мішэнь для распылення таксама можа быць выкарыстана для рэактыўнага распылення для падрыхтоўкі такіх злучэнняў, як аксіды, нітрыды і карбіды. Калі частата ВЧ павялічваецца, гэта стане мікрахвалевым плазменным распыленнем. У цяперашні час шырока выкарыстоўваецца мікрахвалевае плазменнае распыленне электроннага цыклатроннага рэзанансу (ЭЦР).
Час размяшчэння: 26 мая 2022 г