Вакуумнае пакрыццё пры выбары матэрыялаў для напылення мішэняў у цяперашні час з'яўляецца праблемай для людзей, паколькі нанясенне напылення пакрыццяў, асабліва развіццё навыкаў нанясення пакрыццяў магнетронным напыленнем, можна сказаць, што любая інфармацыя будзе мець магчымасць мэтавай падрыхтоўкі тонкіх плёнак. шляхам іённай бамбардзіроўкі, таму што распыленне матэрыялу мішэні ў працэсе нанясення пакрыцця на тып падкладкі аказвае важны ўплыў на якасць напыляльнай плёнкі, такім чынам, матэрыял мішэні патрабаванні больш жорсткія. Тут мы даведаемся пра ролю распыляльнай мішэні ў вакуумным пакрыцці разам з рэдактарам Beijing Relaxation
一、Прынцып адбору і класіфікацыя мэтавага матэрыялу
Пры выбары мэтавага матэрыялу, у дадатак да выкарыстання самой плёнкі, варта таксама ўлічваць наступныя праблемы:
Праблема 1. Згодна з патрабаваннямі да выкарыстання і прадукцыйнасці мембраны, мэтавы матэрыял павінен адпавядаць тэхнічным патрабаванням чысціні, утрымання часопіса, аднастайнасці кампанентаў, дакладнасці апрацоўкі і гэтак далей.
Праблема 2. Мэтавы матэрыял павінен мець добрую механічную трываласць і хімічную стабільнасць пасля фарміравання плёнкі;
Праблема 3. Неабходна, каб матэрыял плёнкі лёгка ствараў складную плёнку з рэакцыйным газам у якасці плёнкі для рэактыўнага распылення;
Праблема 4. Неабходна ўсталяваць мішэнь і матрыцу, каб быць трывалымі, у адваротным выпадку, матэрыял плёнкі з добрай адгезіяй да матрыцы павінен быць прыняты, спачатку напыленнем пласта ніжняй плёнкі, а затым падрыхтаваць неабходны пласт плёнкі;
Пытанне 5. Зыходзячы з таго, што плёнка адпавядае патрабаванням прадукцыйнасці, чым меншая розніца паміж каэфіцыентам цеплавога пашырэння мішэні і матрыцы, тым лепш, каб паменшыць уплыў тэрмічнага напружання напыляльнай плёнкі;
Падрыхтоўка некалькіх звычайна выкарыстоўваюцца мішэняў
(1) кр мэта
Хром як плёнкавы матэрыял для распылення не толькі лёгка спалучаецца з асноўным матэрыялам, мае высокую адгезію, а плёнка хрому і аксіду CrQ3, яе механічныя ўласцівасці, кіслотнасць і тэрмаўстойлівасць лепш.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. у асноўным займаецца: тытанавай мішэнню, цырконіевай мішэнню, алюмініевай мішэнню, нікелевай мішэнню, хромавай мішэнню, вальфрамавай мішэнню, малібдэнавай мішэнню, меднай мішэнню, крэмніевай мішэнню, ніобіевай мішэнню, танталавай мішэнню, тытана-крэмніевым сплавам мішэнь, мішэнь з тытана-ніобіевага сплаву, мішэнь з тытанава-вальфрамавага сплаву, мішэнь з тытана-цырконіевага сплаву, мішэнь з нікель-хромавага сплаву, мішэнь са сплаву крэмнія і алюмінію, мішэнь з нікель-ванадыявага сплаву, мішэнь з трайнога сплаву хрому, алюмінію і крэмнію, матэрыял мішэні з трайнога сплаву Ti al si, шырока выкарыстоўваецца ў аздабленні/цвёрдых паверхнях і функцыянальных пакрыццё, архітэктурнае шкло, плоскі дысплей/аптычны фотаэлектрычны, аптычны захоўванне, электроніка, друк і іншыя прафесіі.
Час публікацыі: 2 чэрвеня 2022 г