Мэта мае шырокі рынак, вобласць прымянення і вялікае развіццё ў будучыні. Каб дапамагчы вам лепш зразумець функцыі мэты, тут ніжэй інжынер RSM коратка прадставіць асноўныя функцыянальныя патрабаванні мэты.
Чысціня: чысціня з'яўляецца адным з асноўных функцыянальных паказчыкаў мішэні, таму што чысціня мішэні мае вялікі ўплыў на функцыю плёнкі. Аднак у практычным прымяненні патрабаванні да чысціні мішэні таксама адрозніваюцца. Напрыклад, з хуткім развіццём мікраэлектроннай прамысловасці памер крамянёвай пласціны павялічваецца з 6 "да 8" да 12", а шырыня праводкі памяншаецца з 0,5 мкм да 0,25 мкм, 0,18 мкм ці нават 0,13 мкм. Раней 99,995% мэтавай чысціні магло адпавядаць патрабаванням працэсу 0,35 мкм, у той час як падрыхтоўка ліній 0,18 мкм патрабуе 99,999% ці нават 99,9999% мэтавай чысціні.
Змест прымешак: прымешкі ў мэтавых цвёрдых рэчывах, а таксама кісларод і вадзяная пара ў порах з'яўляюцца асноўнымі крыніцамі забруджвання асаджаных плёнак. Мішэні рознага прызначэння маюць розныя патрабаванні да рознага зместу прымешак. Напрыклад, мішэні з чыстага алюмінію і алюмініевых сплаваў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай прамысловасці, маюць асаблівыя патрабаванні да ўтрымання шчолачных металаў і радыеактыўных элементаў.
Шчыльнасць: для памяншэння пор у цвёрдай мішэні і паляпшэння функцыі распыляльнай плёнкі мішэнь звычайна павінна мець высокую шчыльнасць. Шчыльнасць мішэні не толькі ўплывае на хуткасць распылення, але таксама ўплывае на электрычныя і аптычныя функцыі плёнкі. Чым вышэй мэтавая шчыльнасць, тым лепш функцыянуе плёнка. Акрамя таго, павышаецца шчыльнасць і трываласць мішэні, каб мішэнь лепш прымала тэрмічнае напружанне ў працэсе распылення. Шчыльнасць таксама з'яўляецца адным з ключавых функцыянальных паказчыкаў мішэні.
Час публікацыі: 20 мая 2022 г