У цяперашні час у асноўных сусветных вытворцаў мішэняў для распылення існуе два розныя метады вырабу мішэняў для распылення з алюмініевага сплаву. Адным з іх з'яўляецца выбар метаду ліцця для вытворчасці злітка, а затым зрабіць працэс ліцця. Другі выраблены метадам распылення. Дазвольце пекінскаму рэдактару падзяліцца з вамі інфармацыяй пра вытворчы працэс тытанава-алюмініевага сплаву, на які арыентаваны здаровы сэнс.
Што датычыцца вядомых метадаў ліцця/адліўкі, пры вытворчасці мішэні для напылення з алюмініевага сплаву мішэнь для напылення з алюмініевага сплаву часта падвяргаецца сегрэгацыі з-за дадання элементаў сплаву, што прыводзіць да нізкай якасці напыленай плёнкі і мікрачасціц. лёгка ўзнікнуць на паверхні распыляльнай мішэні, што таксама паўплывае на аднастайнасць уласцівасцей плёнкі; аднак, калі вядомае распыленне метад фармавання выкарыстоўваецца для вытворчасці распыляльнай мішэні з алюмініевага сплаву, хоць вышэйзгаданыя звязаныя дэфекты можна прадухіліць, кошт вытворчасці распыляльнай мішэні будзе значна зніжаны, асабліва пры вытворчасці некаторых распыляльных мішэняў, якія няпроста адліць і павінны быць гарачым адціскам, кошт будзе палепшана пры выкарыстанні гарачага адціскання.
Для таго, каб зрабіць працэс вытворчасці мішэні з тытан-алюмініевага сплаву прасцейшым і знізіць кошт, тут прадстаўлены метад вырабу мішэні з алюмініевага сплаву з распыленнем парашка з паветра. Яго прынцып заключаецца ў тым, што парашок матэрыялу для распыляльнай мішэні вырабляецца метадам паветранага распылення ў адпаведнасці з суадносінамі складу сплаву, а затым парашок сплаву прасейваецца для атрымання адпаведнага памеру часціц парашка. Нарэшце, парашок падвяргаецца гарачаму прэсаванню ў вакууме, каб зрабіць распыляльную мішэнь з алюмініевага сплаву.
Гэты метад вырабу мішэняў з алюмініевага сплаву з паветраным распыленнем парашка можа быць выкарыстаны для вырабу розных мішэняў з алюмініевага сплаву (алюміній-хром, алюміній-крэмній-медзь, алюміній-тытан і інш.). Пераважнымі этапамі рэалізацыі з'яўляюцца: пастаўка металічных матэрыялаў для вырабу мішэняў з алюмініевага сплаву і іх плаўлення ў металічны расплаў; затым расплаўлены метал ператвараецца ў металічны парашок метадам паветранага распылення; Нарэшце, металічны парашок фармуецца вакуумным гарачым прэсаваннем, каб зрабіць распыляльную мішэнь з алюмініевага сплаву, а ў якасці абслугоўваючага газу ўводзіцца інэртны газ. Гэты метад можа прадухіліць сегрэгацыю дадзеных і дэфекты мікрачасціц, а таксама вырабляць высакаякасныя мішэні для напылення хутчэй і танней.
Час публікацыі: 01 чэрвеня 2022 г