З павелічэннем попыту на рынку пастаянна абнаўляецца ўсё больш тыпаў мішэняў для распылення. Некаторыя з іх знаёмыя, а некаторыя незнаёмыя кліентам. Цяпер мы хацелі б падзяліцца з вамі тыпамі мішэняў для магнетроннага распылення.
Мішэні для напылення маюць наступныя тыпы: мішэні з металічным напыленнем, мішэні з напыленнем са сплаву, мішэні з керамічным напыленнем, мішэні з борыднай керамікі, мішэні з карбіду, керамікі з фтарыдам, мішэні з нітрыду, керамікі з аксіду, мішэні з селеніду. , сіліцыдная кераміка распыляльная мішэнь, сульфідна-керамічная мішэнь для напылення, тэлурыдная керамічная мішэнь для напылення, іншыя керамічныя мішэні, керамічная мішэнь з аксіду крэмнію, легіраваная хромам (CR SiO), мішэнь з фасфіду індыя (INP), мішэнь з арсеніду свінцу (pbas), мішэнь з арсеніду індыя (InAs).
Магнетроннае распыленне звычайна падзяляецца на два тыпы: напыленне пастаянным токам і радыёчастотнае напыленне. Прынцып абсталявання для распылення пастаяннага току просты, і яго хуткасць таксама высокая пры распыленні металу. Шырока выкарыстоўваецца радыёчастотнае напыленне. У дадатак да распылення токаправодных дадзеных, ён можа таксама распыляць неправодныя даныя. У той жа час распыляльная мішэнь таксама ажыццяўляе рэактыўнае распыленне для падрыхтоўкі такіх злучэнняў, як аксіды, нітрыды і карбіды. Калі частата ВЧ павялічваецца, гэта стане мікрахвалевым плазменным распыленнем. У цяперашні час шырока выкарыстоўваецца мікрахвалевае плазменнае распыленне электроннага цыклатроннага рэзанансу (ЭЦР).
Час размяшчэння: 18 мая 2022 г