Матэрыялы-мішэні з напыленнем маюць высокія патрабаванні падчас выкарыстання не толькі да чысціні і памеру часціц, але і да аднастайнага памеру часціц. Гэтыя высокія патрабаванні прымушаюць нас надаваць больш увагі пры выкарыстанні матэрыялаў для распылення мішэняў.
1. Падрыхтоўка да распылення
Вельмі важна падтрымліваць чысціню вакуумнай камеры, асабліва сістэмы распылення. Змазачныя матэрыялы, пыл і любыя рэшткі папярэдніх пакрыццяў могуць назапашваць забруджвальныя рэчывы, такія як вада, непасрэдна ўплываючы на вакуум і павялічваючы верагоднасць разрыву плёнкі. Кароткае замыканне, іскрэнне мішэні, шурпатыя паверхні, якія ўтвараюць плёнку, і празмерныя хімічныя прымешкі звычайна выклікаюцца нячыстымі камерамі распылення, гарматамі і мішэнямі.
Для захавання кампазіцыйных характарыстык пакрыцця газ, які распыляецца (аргон або кісларод), павінен быць чыстым і сухім. Пасля ўстаноўкі падкладкі ў камеру распылення неабходна выцягнуць паветра, каб дасягнуць неабходнага для працэсу ўзроўню вакууму.
2. Мэтавая ачыстка
Мэта ачысткі мішэні - выдаліць любы пыл або бруд, якія могуць знаходзіцца на паверхні мішэні.
3. Мэтавая ўстаноўка
Самае галоўнае, на што трэба звярнуць увагу ў працэсе ўстаноўкі матэрыялу мішэні, - гэта забяспечыць добрую цеплавую сувязь паміж матэрыялам мішэні і астуджальнай сценкай распыляльніка. Калі астуджальная сценка або задняя пласціна моцна дэфармаваныя, гэта можа прывесці да парэпання або выгібу падчас усталявання мэтавага матэрыялу. Перадача цяпла ад задняй мішэні да матэрыялу мішэні будзе моцна закранута, што прывядзе да немагчымасці рассейваць цяпло падчас распылення, што ў канчатковым выніку прывядзе да парэпання або адхілення матэрыялу мішэні.
4. Кароткае замыканне і праверка герметычнасці
Пасля ўстаноўкі матэрыялу мішэні неабходна праверыць кароткае замыканне і герметычнасць усяго катода. Для вызначэння кароткага замыкання катода рэкамендуецца выкарыстоўваць омметр і мегаомметр. Пасля пацверджання таго, што на катодзе няма кароткага замыкання, можна правесці выяўленне ўцечкі шляхам упырску вады ў катод, каб вызначыць, ці ёсць уцечка.
5. Матэрыял мішэні перад распыленнем
Рэкамендуецца выкарыстоўваць чысты аргон для папярэдняга распылення матэрыялу мішэні, які можа ачысціць паверхню матэрыялу мішэні. Рэкамендуецца павольна павялічваць магутнасць распылення падчас папярэдняга працэсу распылення мэтавага матэрыялу. Магутнасць керамічнага мэтавага матэрыялу
Час публікацыі: 19 кастрычніка 2023 г