Матэрыялы для ніобіевых мішэняў у асноўным выкарыстоўваюцца для нанясення аптычных пакрыццяў, пакрыццяў паверхневых інжынерных матэрыялаў і такіх галінах пакрыццяў, як тэрмаўстойлівасць, устойлівасць да карозіі і высокая праводнасць. У галіне аптычнага пакрыцця яно ў асноўным прымяняецца ў афтальмалагічных аптычных прадуктах, лінзах, дакладнай оптыцы, пакрыцці вялікай плошчы, 3D-пакрыцці і іншых аспектах.
Матэрыял ніёбіевай мішэні звычайна называюць голай мішэнню. Спачатку яго прыварваюць да меднай задняй мішэні, а затым распыляюць, каб асаджваць атамы ніобію ў выглядзе аксідаў на матэрыял падкладкі, дасягаючы напылення. З бесперапынным паглыбленнем і пашырэннем тэхналогіі і прымянення ніобіевых мішэняў патрабаванні да аднастайнасці мікраструктуры ніобіевых мішэняў павялічыліся, што ў асноўным выяўляецца ў трох аспектах: удакладненне памеру збожжа, адсутнасць відавочнай арыентацыі тэкстуры і паляпшэнне хімічнай чысціні.
Раўнамернае размеркаванне мікраструктуры і ўласцівасцей па мішэні мае вырашальнае значэнне для забеспячэння эфектыўнасці распылення ніобіевых мішэняў. Паверхня ніобіевых мішэняў, якія сустракаюцца ў прамысловай вытворчасці, звычайна дэманструе рэгулярныя ўзоры, якія моцна ўплываюць на прадукцыйнасць распылення мішэняў. Як мы можам палепшыць узровень выкарыстання мэтавых паказчыкаў?
Дзякуючы даследаванням было выяўлена, што ўтрыманне прымешак (мэтавая чысціня) з'яўляецца важным фактарам, які ўплывае на чысціню. Хімічны склад сыравіны нераўнамерны, узбагачаны прымешкамі. Пасля наступнай апрацоўкі пракаткай на паверхні матэрыялу ніобіевай мішэні ўтвараюцца рэгулярныя ўзоры; Ліквідацыя нераўнамернага размеркавання кампанентаў сыравіны і ўзбагачэння прымешкамі можа пазбегнуць адукацыі рэгулярных узораў на паверхні ніёбіевых мішэняў. Уплыў памеру збожжа і структурнага складу на мэтавы матэрыял можа быць амаль нязначным.
Час публікацыі: 19 чэрвеня 2023 г