Патрабаванні да прадукцыйнасці мэтавых матэрыялаў у індустрыі аптычных назапашвальнікаў

Мэтавы матэрыял, які выкарыстоўваецца ў індустрыі захоўвання дадзеных, патрабуе высокай чысціні, і прымешкі і пары павінны быць зведзены да мінімуму, каб пазбегнуць адукацыі прымешак часціц падчас распылення. Мэтавы матэрыял, які выкарыстоўваецца для высакаякасных прадуктаў, патрабуе, каб памер часціц яго крышталяў быў невялікім і аднастайным і не меў арыентацыі крышталяў. Ніжэй давайце паглядзім на патрабаванні індустрыі аптычных назапашвальнікаў да мэтавага матэрыялу?

1. Чысціня

У практычных прымяненнях чысціня мэтавых матэрыялаў вар'іруецца ў залежнасці ад розных галін і патрабаванняў. Аднак, у цэлым, чым вышэй чысціня матэрыялу мішэні, тым лепш прадукцыйнасць плёнкі з напыленнем. Напрыклад, у індустрыі аптычных назапашвальнікаў чысціня мэтавага матэрыялу павінна быць вышэй за 3N5 або 4N

2. Змест прымешак

Матэрыял мішэні служыць крыніцай катода пры распыленні, а прымешкі ў цвёрдым рэчыве, а таксама кісларод і вадзяная пара ў порах з'яўляюцца асноўнымі крыніцамі забруджвання для нанясення тонкіх плёнак. Акрамя таго, прад'яўляюцца асаблівыя патрабаванні да мішэняў рознага прызначэння. Прымаючы ў якасці прыкладу індустрыю аптычных назапашвальнікаў, утрыманне прымешак у мішэнях для распылення павінна кантралявацца на вельмі нізкім узроўні, каб забяспечыць якасць пакрыцця.

3. Зярністасць і размеркаванне

Звычайна матэрыял мішэні мае полікрышталічную структуру з памерам зерняў ад мікраметраў да міліметраў. Для мішэняў з аднолькавым складам хуткасць распылення дробназярністых мішэняў вышэй, чым у крупназярністых. Для мішэняў з меншай розніцай у памерах зерняў таўшчыня нанесенай плёнкі таксама будзе больш аднастайнай.

4. Кампактнасць

Каб паменшыць сітаватасць цвёрдага матэрыялу мішэні і палепшыць характарыстыкі плёнкі, звычайна патрабуецца, каб матэрыял мішэні для напылення меў высокую шчыльнасць. Шчыльнасць мэтавага матэрыялу ў асноўным залежыць ад працэсу падрыхтоўкі. Матэрыял мішэні, выраблены метадам плаўлення і ліцця, можа гарантаваць адсутнасць пор у матэрыяле мішэні і вельмі высокую шчыльнасць.