Рыначны попыт на металічныя мішэні з напыленнем, якія выкарыстоўваюцца ў індустрыі плоскіх дысплеяў

Вадкакрысталічныя дысплеі з тонкаплёнкавымі транзістарамі ў цяперашні час з'яўляюцца асноўнай тэхналогіяй дысплеяў з плоскімі дысплеямі, а металічныя мішэні для распылення з'яўляюцца адным з найбольш важных матэрыялаў у працэсе вытворчасці. У цяперашні час попыт на металічныя распыляльныя мішэні, якія выкарыстоўваюцца ў асноўных вытворчых лініях ВК-панэляў у Кітаі, самы высокі для чатырох тыпаў мішэняў: алюмініевых, медных, малібдэнавых і малібдэн-ніёбіевых сплаваў. Дазвольце мне прадставіць рынкавы попыт на металічныя мішэні з напыленнем у індустрыі плоскіх дысплеяў.

1、 Алюмініевая мішэнь

У цяперашні час алюмініевыя мішэні, якія выкарыстоўваюцца ў айчыннай індустрыі вадкакрысталічных дысплеяў, у асноўным дамінуюць японскія прадпрыемствы.

2、 Медная мішэнь

З пункту гледжання тэндэнцыі развіцця тэхналогіі распылення, доля попыту на медныя мішэні паступова павялічваецца. Акрамя таго, у апошнія гады памер рынку айчыннай індустрыі вадкакрысталічных дысплеяў пастаянна пашыраецца. Такім чынам, попыт на медныя мішэні ў індустрыі дысплеяў з плоскімі панэлямі будзе працягваць расці.

3、 Малібдэнавая мішэнь шырокага дыяпазону

З пункту гледжання замежных прадпрыемстваў: Замежныя прадпрыемствы, такія як Panshi і Shitaike, у асноўным манапалізуюць шырокі ўнутраны рынак малібдэна. Айчынная вытворчасць: па стане на канец 2018 года малібдэнавыя мішэні шырокага спектру айчыннай вытворчасці выкарыстоўваліся ў вытворчасці вадкакрысталічных дысплеяў.

4、 мішэнь са сплаву малібдэна ніобію 10

Малібдэн-ніобіевы сплаў 10, які з'яўляецца важнай заменай матэрыялу для малібдэн-алюмініевага малібдэна ў дыфузійным бар'ерным слоі тонкаплёнкавых транзістараў, мае шматспадзеўную перспектыву рынкавага попыту. Аднак з-за значнай розніцы ў каэфіцыенце ўзаемнай дыфузіі паміж атамамі малібдэна і ніобію пасля высокатэмпературнага спякання ў часціцах ніобію будуць утварацца вялікія пары, што ўскладняе паляпшэнне шчыльнасці спякання. Акрамя таго, моцнае ўмацаванне цвёрдага раствора будзе ўтварацца пасля поўнай дыфузіі атамаў малібдэна і ніобію, што прывядзе да пагаршэння іх характарыстык пракаткі. Аднак пасля шматлікіх эксперыментаў і адкрыццяў у 2017 годзе ён быў паспяхова разгорнуты з утрыманнем кіслароду менш за 1000 × A нарыхтоўка-мішэнь са сплаву Mo Nb і шчыльнасцю 99,3%.