Мішэнь з ітрыю высокай чысціні — важны элемент PVD-пакрыцця

Што такое ітрыевая мішэнь для распылення?
Ітрыевая мішэнь у асноўным вырабляецца металічным элементам ітрыевым распыленнем мішэні, таму што ітрый (Y) з'яўляецца адным з рэдказямельных элементаў, таму ітрыевая мішэнь таксама вядомая як рэдказямельная мішэнь.
Ітрыевыя мішэні ў асноўным выкарыстоўваюцца ў тэхналогіі напылення. Тэхналогія распылення з'яўляецца адной з тэхналогій фізічнага нанясення з паравай фазы (PVD) і з'яўляецца адной з асноўных тэхналогій для падрыхтоўкі электронных тонкаплёнкавых матэрыялаў. Пры бамбардзіроўцы паверхні мішэні часціцамі высокай энергіі (напрыклад, іонамі або электроннымі пучкамі) атамы або малекулы мішэні распыляюцца і асаджваюцца на іншую падкладку з адукацыяй патрэбнай плёнкі або пакрыцця.
Ітрыевая мішэнь - гэта проста зыходны матэрыял патрэбнай плёнкі або пакрыцця, прыгатаванага з дапамогай тэхналогіі PVD.

Што ёсцьуітрыевая мішэнь для распылення выкарыстоўваецца?

Ітрыевыя мішэні маюць шырокі спектр прымянення ў некалькіх галінах, ніжэй прыведзены асноўныя вобласці прымянення:

1. Паўправадніковыя матэрыялы: у паўправадніковай прамысловасці ітрыевыя мішэні выкарыстоўваюцца для атрымання пэўных слаёў у паўправадніковых матэрыялах або электронных кампанентах, такіх як транзістары, інтэгральныя схемы і г.д.
2. Аптычнае пакрыццё: у галіне оптыкі ітрыевыя мішэні можна выкарыстоўваць для атрымання аптычных пакрыццяў з высокім паказчыкам праламлення і нізкай хуткасцю рассейвання, якія гуляюць важную ролю ў вытворчасці аптычных прылад, такіх як лазеры і аптычныя фільтры.
3. Асаджэнне тонкай плёнкі: ітрыевая мішэнь займае важную пазіцыю ў тэхналогіі нанясення тонкай плёнкі, а яе высокая чысціня, добрая стабільнасць і спецыфічныя фізічныя і хімічныя ўласцівасці робяць яе ідэальным выбарам для падрыхтоўкі розных тонкаплёнкавых матэрыялаў. Гэтыя тонкаплёнкавыя матэрыялы маюць шырокі спектр прымянення ў аптычных, электронных, магнітных і іншых галінах.
4. Галіна медыцыны: ітрыевыя мішэні маюць важнае прымяненне ў радыяцыйнай медыцыне, напрыклад, у якасці крыніцы рэнтгенаўскага і гама-прамянёў, дыягнастычнай візуалізацыі (напрыклад, КТ) і прамянёвай тэрапіі. Акрамя таго, спецыфічныя ізатопы ітрыю (напрыклад, Y-90) таксама могуць выкарыстоўвацца ў радыёфармацэўтычных прэпаратах для мэтанакіраванага лячэння пэўных відаў раку.
5. Ядзерная энергетыка: у ядзерных рэактарах ітрыевыя мішэні выкарыстоўваюцца ў якасці рычажных матэрыялаў для кантролю хуткасці і стабільнасці ядзерных рэакцый дзякуючы іх выдатнай здольнасці паглынаць нейтроны.

Заўвага: паколькі патрабаванні да прадукцыйнасці ітрыевых мішэняў у розных галінах прымянення могуць адрознівацца, адпаведная мішэнь павінна быць выбрана ў адпаведнасці з рэальнай сітуацыяй у канкрэтным прымяненні. (Такія, як пэўная чысціня, суадносіны складу, памер, форма і г.д., настроеныя ў адпаведнасці з канкрэтнымі патрабаваннямі.)

Тэхналогія вытворчасці ітрыевых мішэняў?

1. Падрыхтоўка ітрыевага парашка 2. ГІП, прэсаванне 3. Спяканне пры высокай тэмпературы 4. Наступная апрацоўка (рэзка, паліроўка і г.д.) 5. Ачыстка і ўпакоўка

Заўвага: акрамя вышэйпералічаных асноўных этапаў, у адпаведнасці з канкрэтным метадам падрыхтоўкі і патрэбамі прымянення, ітрыевыя мішэні для распылення могуць таксама ўключаць іншыя этапы і тэхналогіі, такія як метад распылення, метад вакуумнага плаўлення і г.д. Гэтыя метады дапамагаюць дадаткова наладзіць і аптымізаваць выкананне і структура мэтавага матэрыялу.

Як выбраць якасную мішэнь для напылення?

Ніжэй пералічаны 7 важных фактараў для выбару высакаякасных мішэняў для напылення:

1.Прывітаннеgh чысціня

Мішэні высокай чысціні маюць лепшыя ўласцівасці матэрыялу і больш стабільныя фізічныя і хімічныя ўласцівасці, што вельмі важна для забеспячэння якасці і прадукцыйнасці напыленых пакрыццяў. Канкрэтныя патрабаванні да чысціні павінны вызначацца ў адпаведнасці са сцэнарыем прымянення, у некаторых простых сцэнарыях прымянення не трэба дамагацца звышвысокай чысціні, каб не павялічваць непатрэбныя выдаткі. Тое, што вам падыходзіць, лепш за ўсё.

2.Стабільнасць

Стабільнасць мішэні не менш важная, што дазваляе пазбегнуць страт матэрыялу або ваганняў прадукцыйнасці падчас распылення. Такім чынам, пры выбары выбіраюць спецыяльную апрацоўку або добрую стабільнасць прадукту.

3.Памер і форма

Памер і форма мішэні для напылення павінны выбірацца ў адпаведнасці са спецыфічнымі патрабаваннямі абсталявання для нанясення пакрыцця, каб адаптавацца да розных працэсаў напылення і вытворчых патрэб. Перакананне таго, што мішэнь супадае з абсталяваннем, павялічвае эфектыўнасць распылення і памяншае адходы.

4.Шчыльнасць

Шчыльнасць - адзін з важных паказчыкаў для вымярэння якасці мэтавага матэрыялу. Матэрыял мішэні высокай шчыльнасці можа забяспечыць лепшы эфект распылення. Пры выбары варта звяртаць увагу на дадзеныя шчыльнасці мішэні, і старацца выбіраць вырабы з большай шчыльнасцю.

5. Дакладнасць апрацоўкі

Дакладнасць апрацоўкі мішэні таксама з'яўляецца адным з фактараў, якія неабходна ўлічваць. Як правіла, дакладнасць апрацоўкі мішэні павінна быць у межах ±0,1 мм для забеспячэння стабільнасці працэсу напылення і аднастайнасці якасці пакрыцця.

6.Асаблівыя патрабаванні

Для некаторых асаблівых сцэнарыяў прымянення, такіх як патрэба ў высокай прапускальнасці святла, нізкім паглынанні мішэні (аптычнае пакрыццё) або высокай праводнасці, высокай стабільнасці мішэні (электроннае поле), варта выбіраць у адпаведнасці з канкрэтнымі патрэбамі адпаведнай мішэні тыпу.

7. Выберыце прафесійнага вытворцы або пастаўшчыка.