Усе мы ведаем, што напыленне - адна з асноўных тэхналогій падрыхтоўкі плёнкавых матэрыялаў. Ён выкарыстоўвае іёны, якія ўтвараюцца крыніцай іёнаў, для паскарэння агрэгацыі ў вакууме для фарміравання высакахуткаснага іённага пучка, бамбардзіроўкі паверхні цвёрдага цела, і іёны абменьваюцца кінетычнай энергіяй з атамамі на паверхні цвёрдага цела, так што атамы на цвёрдай паверхні паверхню пакінуць цвёрдае рэчыва і нанесці на паверхню падкладкі. Бамбардзіраванае цвёрдае рэчыва з'яўляецца сыравінай для нанясення плёнкі шляхам распылення, якое называецца мішэнню для распылення.
Розныя тыпы плёнкавых матэрыялаў з напыленнем шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых інтэгральных схемах, носьбітах запісу, планарных дысплеях, пакрыццях паверхні інструментаў і штампаў і гэтак далей.
Распыляльныя мішэні ў асноўным выкарыстоўваюцца ў электроннай і інфармацыйнай прамысловасці, такіх як інтэгральныя схемы, сховішча інфармацыі, вадкакрысталічныя дысплеі, лазерная памяць, электроннае абсталяванне кіравання і г.д.; Ён таксама можа быць выкарыстаны ў галіне пакрыцця шкла; Ён таксама можа быць выкарыстаны ў зносастойкіх матэрыялах, устойлівых да карозіі пры высокіх тэмпературах, дэкаратыўных вырабах высокага класа і іншых галінах прамысловасці.
Існуе шмат відаў распыляльных мішэняў, і існуюць розныя метады класіфікацыі мішэняў:
Па складзе яе можна падзяліць на металічную мішэнь, мішэнь са сплаву і мішэнь з керамічнага злучэння.
Па форме яе можна падзяліць на доўгую мішэнь, квадратную мішэнь і круглую мішэнь.
Яе можна падзяліць на мікраэлектронную мішэнь, мішэнь для магнітнай запісу, мішэнь для аптычнага дыска, мішэнь з каштоўнага металу, мішэнь для ўстойлівасці плёнкі, мішэнь для праваправоднай плёнкі, мішэнь для мадыфікацыі паверхні, мішэнь для маскі, мішэнь для дэкаратыўнага пласта, мішэнь для электродаў і іншыя мішэні ў залежнасці ад вобласці прымянення.
У залежнасці ад прымянення, яго можна падзяліць на керамічныя мішэні, звязаныя з паўправаднікамі, керамічныя мішэні з запісам сярэдняга памеру, керамічныя мішэні з дысплеем, звышправодныя керамічныя мішэні і гіганцкія керамічныя мішэні з магнітарэзістэнтнасцю.
Час публікацыі: 29 ліпеня 2022 г