У цяперашні час амаль усе высакакласныя медныя мішэні з металу звышвысокай чысціні, неабходныя індустрыі мікрасхем, манапалізаваны некалькімі буйнымі замежнымі транснацыянальнымі кампаніямі. Усе мішэні з звышчыстай медзі, неабходныя айчыннай індустрыі мікрасхем, неабходна імпартаваць, што не толькі дорага, але і ўскладняе працэдуры імпарту. Такім чынам, Кітаю неабходна тэрмінова палепшыць распрацоўку і праверку мішэняў для напылення з медзі звышвысокай чысціні (6N). . Давайце паглядзім на ключавыя моманты і цяжкасці пры распрацоўцы мішэняў для напылення з медзі звышвысокай чысціні (6N).
1、Распрацоўка матэрыялаў звышвысокай чысціні
Тэхналогія ачысткі высокачыстых металаў Cu, Al і Ta ў Кітаі далёкая ад індустрыяльна развітых краін. У цяперашні час большасць металаў высокай чысціні, якія можна паставіць, не могуць адпавядаць патрабаванням да якасці інтэгральных схем для распыляльных мішэняў у адпаведнасці са звычайнымі метадамі аналізу ўсіх элементаў у прамысловасці. Колькасць уключэнняў у мэта занадта вялікая або размеркавана нераўнамерна. Часціцы часта ўтвараюцца на пласціне падчас напылення, што прыводзіць да кароткага замыкання або абрыву ланцуга злучэння, што сур'ёзна ўплывае на характарыстыкі плёнкі.
2、Распрацоўка тэхналогіі падрыхтоўкі мішэняў меднага напылення
Распрацоўка тэхналогіі падрыхтоўкі мішэняў для напылення медзі ў асноўным засяроджваецца на трох аспектах: памер збожжа, кантроль арыентацыі і аднастайнасць. Паўправадніковая прамысловасць прад'яўляе самыя высокія патрабаванні да мішэняў для распылення і сыравіны, якая выпараецца. Ён прад'яўляе вельмі жорсткія патрабаванні да кантролю памеру зярністасці паверхні і арыентацыі крышталя мішэні. Памер збожжа мішэні павінен кантралявацца на ўзроўні 100μ M ніжэй, такім чынам, кантроль памеру збожжа і сродкі карэляцыйнага аналізу і выяўлення вельмі важныя для распрацоўкі металічных мішэняў.
3、Развіццё аналізу ітэставанне тэхналогіі
Высокая чысціня мішэні азначае памяншэнне прымешак. У мінулым для вызначэння прымешак выкарыстоўваліся індуктыўна звязаная плазма (ICP) і атамна-абсарбцыйная спектраметрыя, але ў апошнія гады ў якасці стандарту паступова выкарыстоўваецца аналіз якасці тлеючага разраду (GDMS) з больш высокай адчувальнасцю. метад. Метад каэфіцыента рэшткавага супраціву RRR у асноўным выкарыстоўваецца для вызначэння электрычнай чысціні. Яго прынцып вызначэння заключаецца ў ацэнцы чысціні асноўнага металу шляхам вымярэння ступені электроннай дысперсіі прымешак. Паколькі гэта вымярэнне супраціву пры пакаёвай тэмпературы і вельмі нізкай тэмпературы, гэта проста прыняць лік. У апошнія гады, каб даследаваць сутнасць металаў, даследаванні звышвысокай чысціні вельмі актыўныя. У гэтым выпадку значэнне RRR - лепшы спосаб ацаніць чысціню.
Час публікацыі: 6 мая 2022 г