У апошнія гады з развіццём тэхналогіі інтэгральных схем (ІС) хутка развіваюцца адпаведныя прымянення інтэгральных схем. Распыляльная мішэнь з алюмініевага сплаву звышвысокай чысціні ў якасці дапаможнага матэрыялу пры вытворчасці металічных злучэнняў інтэгральных схем стала гарачай тэмай апошніх айчынных даследаванняў. рэдактар RSM пакажа нам характарыстыкі распыляльнай мішэні з алюмініевага сплаву высокай чысціні.
Для далейшага павышэння эфектыўнасці распылення магнетроннай мішэні і забеспячэння якасці нанесеных плёнак вялікая колькасць эксперыментаў паказвае, што існуюць пэўныя патрабаванні да складу, мікраструктуры і арыентацыі зерняў мішэні для распылення з алюмініевага сплаву звышвысокай чысціні.
Памер зерня і арыентацыя зерня мішэні аказваюць вялікі ўплыў на падрыхтоўку і ўласцівасці плёнак для мікрасхем. Вынікі паказваюць, што хуткасць аблогі памяншаецца з павелічэннем памеру зерня; Для распыляльнай мішэні з аднолькавым складам хуткасць распылення мішэні з малым памерам зярністасці вышэй, чым у мішэні з вялікім памерам зярністасці; Чым больш аднастайны памер зярністасці мішэні, тым больш раўнамернае размеркаванне таўшчыні нанесеных плёнак.
Пры аднолькавым прыборы для распылення і параметрах працэсу хуткасць распылення мішэні са сплаву Al Cu павялічваецца з павелічэннем атамнай шчыльнасці, але ў цэлым яна стабільная ў пэўным дыяпазоне. Уплыў памеру збожжа на хуткасць распылення абумоўлены змяненнем атамнай шчыльнасці са зменай памеру збожжа; Хуткасць нанясення ў асноўным залежыць ад арыентацыі зерняў мішэні са сплаву Al Cu. На аснове забеспячэння долі (200) крышталічных плоскасцей павелічэнне долі (111), (220) і (311) крышталічных плоскасцей павялічыць хуткасць нанясення.
Памер і арыентацыя збожжа мішэняў з алюмініевага сплаву звышвысокай чысціні ў асноўным рэгулююцца і кантралююцца шляхам гамагенізацыі злітка, гарачай апрацоўкі і рэкрышталізацыйнага адпалу. З павелічэннем памеру пласціны да 20,32 см (8 цаляў) і 30,48 см (12 цаляў) памер мішэні таксама павялічваецца, што ставіць больш высокія патрабаванні да мішэняў для распылення з алюмініевага сплаву звышвысокай чысціні. Для забеспячэння якасці плёнкі і ўраджайнасці неабходна строга кантраляваць параметры мэтавай апрацоўкі, каб мікраструктура мэты была аднастайнай, а арыентацыя збожжа павінна мець моцныя (200) і (220) плоскія тэкстуры.
Час публікацыі: 30 чэрвеня 2022 г