Rich Special Material Co., Ltd. можа вырабляць алюмініевыя мішэні высокай чысціні, медныя мішэні, танталавыя мішэні, тытанавыя мішэні і г.д. для паўправадніковай прамысловасці.
Да паўправадніковых чыпаў прад'яўляюцца высокія тэхнічныя патрабаванні і высокія цэны на распыляльныя мішэні. Іх патрабаванні да чысціні і тэхналогіі распылення мішэняў вышэйшыя, чым да плоскіх дысплеяў, сонечных батарэй і іншых прыкладанняў. Паўправадніковыя чыпы ўсталёўваюць вельмі строгія стандарты чысціні і ўнутранай мікраструктуры распыляльных мішэняў. Калі ўтрыманне прымешак у распыляльнай мішэні занадта высокае, утвораная плёнка не можа адпавядаць неабходным электрычным уласцівасцям. У працэсе напылення на пласціне лёгка ўтвараюцца часціцы, што прыводзіць да кароткага замыкання або пашкоджання ланцуга, што сур'ёзна ўплывае на характарыстыкі плёнкі. Наогул кажучы, для вытворчасці чыпаў патрабуецца самая высокая чысціня напылення, якая звычайна складае 99,9995% (5N5) або вышэй.
Мішэні для распылення выкарыстоўваюцца для вырабу бар'ерных слаёў і слаёў упаковачнай металічнай праводкі. У працэсе вытворчасці пласціны мішэнь у асноўным выкарыстоўваецца для вырабу токаправоднага пласта, бар'ернага пласта і металічнай сеткі пласціны. У працэсе ўпакоўкі мікрасхем мішэнь для распылення выкарыстоўваецца для стварэння металічных слаёў, слаёў правадоў і іншых металічных матэрыялаў пад няроўнасцямі. Хоць колькасць мэтавых матэрыялаў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці пласцін і ўпакоўцы чыпаў, невялікая, паводле статыстыкі SEMI, кошт мэтавых матэрыялаў у працэсе вытворчасці і ўпакоўкі пласцін складае каля 3%. Аднак якасць распыляльнай мішэні непасрэдна ўплывае на аднастайнасць і прадукцыйнасць токаправоднага пласта і бар'ернага пласта, тым самым уплываючы на хуткасць перадачы і стабільнасць чыпа. Такім чынам, мішэнь для распылення з'яўляецца адным з асноўных сыравін для вытворчасці паўправаднікоў
Час публікацыі: 16 лістапада 2022 г