Сардэчна запрашаем на нашы сайты!

Вобласці прымянення мішэняў для распылення

Як мы ўсе ведаем, існуе мноства спецыфікацый мішэняў для распылення, і вобласці іх прымянення таксама вельмі шырокія. Тыпы мішэняў, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў розных галінах, таксама розныя. Сёння давайце даведаемся аб класіфікацыі абласцей прымянення распыляльных мішэняў з рэдактарам RSM!

https://www.rsmtarget.com/

  1、 Вызначэнне мішэні распылення

Распыленне - адна з асноўных тэхналогій атрымання тонкаплёнкавых матэрыялаў. Ён выкарыстоўвае іёны, якія ўтвараюцца крыніцай іёнаў, для паскарэння і збору ў вакууме для фарміравання высакахуткаснага іённага пучка, бамбардзіроўкі паверхні цвёрдага цела, і іёны абменьваюцца кінетычнай энергіяй з атамамі на паверхні цвёрдага цела, так што атамы на цвёрдай паверхні паверхні аддзяляюцца ад цвёрдага цела і наносяцца на паверхню падкладкі. Бамбардзіраванае цвёрдае рэчыва з'яўляецца сыравінай для падрыхтоўкі тонкай плёнкі, асаджанай распыленнем, якая называецца распыляльнай мішэнню.

  2、 Класіфікацыя мішэняў для распылення

 1. Паўправадніковая мішэнь

(1) Агульныя мэты: агульныя мэты ў гэтай галіне ўключаюць металы з высокай тэмпературай плаўлення, такія як тантал / медзь / тытан / алюміній / золата / нікель.

(2) Выкарыстанне: у асноўным выкарыстоўваецца ў якасці асноўнай сыравіны для інтэгральных схем.

(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія тэхнічныя патрабаванні да чысціні, памеру, інтэграцыі і г.д.

  2. Мэта для плоскага дысплея

(1) Агульныя мэты: агульныя мэты ў гэтай галіне ўключаюць алюміній / медзь / малібдэн / нікель / ніобій / крэмній / хром і г.д.

(2) Выкарыстанне: гэты тып мішэні ў асноўным выкарыстоўваецца для розных тыпаў фільмаў вялікай плошчы, такіх як тэлевізары і ноўтбукі.

(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія патрабаванні да чысціні, вялікай плошчы, аднастайнасці і г.д.

  3. Мішэневы матэрыял для сонечнай батарэі

(1) Агульныя мішэні: алюміній / медзь / малібдэн / хром /ITO/Ta і іншыя мішэні для сонечных батарэй.

(2) Выкарыстанне: у асноўным выкарыстоўваецца ў «аконным слоі», бар'ерным слоі, электродзе і токаправоднай плёнцы.

(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія тэхнічныя патрабаванні і шырокі спектр прымянення.

  4. Мішэнь для захоўвання інфармацыі

(1) Агульныя мішэні: агульныя мішэні з кобальту / нікеля / ферасплаву / хрому / тэлуру / селену і іншых матэрыялаў для захоўвання інфармацыі.

(2) Выкарыстанне: гэты від мэтавага матэрыялу ў асноўным выкарыстоўваецца для магнітнай галоўкі, сярэдняга пласта і ніжняга пласта аптычнага прывада і аптычнага дыска.

(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: патрабуецца высокая шчыльнасць захоўвання і высокая хуткасць перадачы.

  5. Мэта для мадыфікацыі інструмента

(1) Агульныя мішэні: звычайныя мішэні, такія як тытан / цырконій / хром-алюмініевы сплаў, мадыфікаваны інструментамі.

(2) Выкарыстанне: звычайна выкарыстоўваецца для ўмацавання паверхні.

(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія патрабаванні да прадукцыйнасці і працяглы тэрмін службы.

  6. Мішэні для электронных прылад

(1) Агульныя мішэні: звычайныя мішэні з алюмініевага сплаву/сіліцыду для электронных прылад

(2) Прызначэнне: звычайна выкарыстоўваецца для тонкаплёнкавых рэзістараў і кандэнсатараў.

(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: невялікі памер, стабільнасць, нізкі тэмпературны каэфіцыент супраціву


Час публікацыі: 27 ліпеня 2022 г