У мэтах падтрымкі плёнкавых п'езаэлектрычных датчыкаў MEMS (pMEMS) і кампанентаў радыёчастотных (РЧ) фільтраў алюмініевы скандыевы сплаў, выраблены кампаніяй Rich Special Material Co., Ltd., спецыяльна выкарыстоўваецца для рэактыўнага нанясення плёнак нітрыду алюмінія, легаваных скандыем. .
Тонкаплёнкавыя п'езаэлектрычныя матэрыялы ўсё часцей выкарыстоўваюцца ў аўтамабільным, прамысловым і асабістым электронным абсталяванні. Прыкладанні ўключаюць датчыкі адбіткаў пальцаў на аснове pmt і прылады распазнавання жэстаў, мікрафоны MEMS, хімічныя датчыкі на аснове рэзанатара і медыцынскія датчыкі. Акрамя таго, плёнкі з нітрыду алюмінія, легаваныя скандыем, усё больш патрэбныя для рэалізацыі радыёчастотных фільтраў для сеткавых прыкладанняў 5G. У той жа час павялічваецца колькасць алюмініевага скандыевага сплаву.
Уласцівасці сплаву Al Sc
Высокая стабільная хімічная аднастайнасць ва ўсім сплаве
Высокая стабільная хімічная аднастайнасць плёнкі на працягу ўсяго тэрміну службы чыпа і сплаву
Чысціня>99,9%, нізкае ўтрыманне кіслароду, нізкае ўтрыманне крытычных забруджвальных рэчываў
Строга кантралюйце мікраструктуру для дасягнення найлепшых характарыстык распылення
Вакуумны літой, цалкам шчыльны сплаў з нізкай адгезіяй, нізкай зменлівасцю і нізкай зярністасцю
Кампанія Rich Special Material Co., Ltd. падтрымлівае разнастайныя паслугі па выплаўцы сплаваў, мэтавай наладцы і R&D.
Час публікацыі: 11 лістапада 2022 г