Тэхнічны кансультант RSM падзеліцца з вамі перавагамі цыліндрычных і планарных магнетронных мішэняў? У параўнанні з іншымі магнетроннымі мішэнямі, цыліндрычныя і плоскія магнетронныя мішэні захоўваюць перавагі добрай аднастайнасці пакрыцця прастакутных плоскіх мішэняў і могуць максімальна выкарыстоўваць мішэні наступнымі двума спосабамі:
(1) Калі дзве групы (чатыры) колцавых паглыбленняў на паверхні мішэні дасягаюць пэўнай глыбіні, стрыжань мішэні (магнітная частка) можна павярнуць на 45° адносна трубы мішэні, каб іншыя вобласці на трубе мішэні якія не падвергліся карозіі, можна выкарыстоўваць;
(2) Калі стрыжань мішэні цыліндрычнай і плоскай магнетроннай мішэні для распылення выкананы як стрыжань мішэні, які верціцца (асяродак мішэні круціцца падчас распылення), паверхня мішэні можа быць раўнамерна распылена пласт за пластом без ям. У гэты час мішэнь будзе выкарыстоўвацца найбольш эфектыўна, і каэфіцыент выкарыстання мішэні можа дасягаць 50% ~ 60%. Калі мэтавым матэрыялам з'яўляецца каштоўны метал, гэта, відавочна, мае вялікае значэнне.
Выкарыстоўваючы прынцып магніта з полюсным башмаком у кааксіяльнай цыліндрычнай магнетроннай распыляльнай мішэні для вырашэння праблемы канцавога магнітнага поля, прастакутную плоскую мішэнь можна пераўтварыць у цыліндрычную і плоскую магнетронную распыляльную мішэнь. Мішэнь можа максымізаваць каэфіцыент выкарыстання мішэні захоўваючы добрую аднастайнасць пакрыцця прамавугольнай плоскай мішэні, каб палепшыць эканамічныя выгады.
Час публікацыі: 4 ліпеня 2022 г