1, Püskürtmə hazırlığı
Vakuum kamerasını, xüsusən də püskürtmə sistemini təmiz saxlamaq çox vacibdir. Sürtkü yağı, toz və əvvəlki örtükdən əmələ gələn hər hansı qalıq su buxarı və digər çirkləndiriciləri toplayacaq ki, bu da vakuum dərəcəsinə birbaşa təsir edəcək və film əmələ gəlməsinin pozulması ehtimalını artıracaq. Qısa qapanma və ya hədəf qövs, kobud film səthi və həddindən artıq kimyəvi çirklilik çox vaxt çirkli püskürtmə kamerası, püskürtmə silahı və hədəfdən qaynaqlanır. Kaplamanın tərkib xüsusiyyətlərinə riayət etmək üçün püskürən qazı (arqon və ya oksigen) təmizləmək və qurutmaq lazımdır. Substrat püskürtmə kamerasına quraşdırıldıqdan sonra prosesin tələb etdiyi vakuuma çatmaq üçün havanın çıxarılması lazımdır. Qaranlıq ərazidə, boşluq divarında və bitişik səthdə qoruyucu örtüyü də təmiz saxlamaq lazımdır. Vakuum kamerasını təmizləyərkən, biz tozlu hissələri təmizləmək üçün şüşə kürə ilə partlatmadan, kameranın ətrafındakı erkən püskürən qalıqları təmizləmək üçün sıxılmış hava ilə birlikdə istifadə etməyi və sonra xarici səthi alüminium oksidi ilə hopdurulmuş zımpara ilə sakitcə cilalamaqdan istifadə edirik. Cuna kağızı cilalandıqdan sonra spirt, aseton və deionlaşdırılmış su ilə təmizlənir. Birlikdə o, köməkçi təmizləmə üçün sənaye tozsoranının istifadəsini müdafiə edir. Gaozhan metal tərəfindən istehsal olunan hədəflər vakuum möhürlənmiş plastik torbalarda qablaşdırılır,
Quraşdırılmış nəmə davamlı agent. Hədəfdən istifadə edərkən, lütfən, hədəfə birbaşa əlinizlə toxunmayın. Qeyd: hədəfdən istifadə edərkən təmiz və tüy qoymayan texniki qulluq əlcəkləri geyinin. Heç vaxt hədəfə birbaşa əllərinizlə toxunmayın
2, Hədəf təmizləmə
Hədəfin təmizlənməsinin məqsədi hədəfin səthində mövcud ola biləcək toz və ya kiri təmizləməkdir.
Metal hədəf dörd addımda təmizlənə bilər,
İlk addım asetonda isladılmış tüysüz yumşaq parça ilə təmizləməkdir;
İkinci addım birinci addıma bənzəyir, spirtlə təmizləmə;
Addım 3: deionlaşdırılmış su ilə təmizləyin. Deionlaşdırılmış su ilə yuyulduqdan sonra hədəfi sobaya qoyun və 100 ℃ temperaturda 30 dəqiqə qurudun.
Oksid və keramika hədəflərinin təmizlənməsi “tüysüz parça” ilə aparılmalıdır.
Dördüncü addım, püskürtmə sistemində qövs əmələ gətirə biləcək bütün çirkli hissəcikləri təmizləmək üçün tozlu ərazini çıxardıqdan sonra hədəfi yüksək təzyiqli və aşağı su qazı ilə arqonla yumaqdır.
3, Hədəf cihazı
Hədəfin quraşdırılması prosesində Z mühüm ehtiyat tədbirləri hədəf və püskürtmə silahının soyuducu divarı arasında yaxşı istilik keçiriciliyini təmin etməkdir. Soyuducu çubuqun əyilməsi şiddətli olarsa və ya arxa lövhənin əyilməsi şiddətlidirsə, hədəf cihaz çatlayacaq və ya əyiləcək və arxa hədəfdən hədəfə qədər istilik keçiriciliyinə böyük təsir göstərəcək və nəticədə istilik yayılmasının uğursuzluğu baş verəcəkdir. püskürtmə prosesində və hədəf çatlayacaq və ya qaçıracaq
İstilik keçiriciliyini təmin etmək üçün katodun soyuducu divarı ilə hədəf arasında bir qrafit kağız təbəqəsi qoyula bilər. Lütfən, O-halqanın həmişə yerində olmasını təmin etmək üçün istifadə olunan püskürtmə tabancasının soyuducu divarının düzlüyünü diqqətlə yoxlamağa və aydınlaşdırmağa diqqət yetirin.
İstifadə olunan soyuducu suyun təmizliyi və avadanlığın istismarı zamanı yarana biləcək toz katodlu soyuducu su çəninə çökəcəyindən, hədəfi quraşdırarkən katod soyuducu su çənini yoxlamaq və təmizləmək lazımdır. soyuducu suyun dövriyyəsi və giriş və çıxışın bloklanmaması.
Bəzi katodlarda anodla kiçik bir boşluq olması planlaşdırılır, buna görə də hədəfi quraşdırarkən, katod və anod arasında heç bir toxunuşun və ya keçiricinin olmamasını təmin etmək tələb olunur, əks halda qısaqapanma baş verəcəkdir.
Hədəfi necə düzgün idarə etmək barədə məlumat üçün avadanlıq operatorunun Təlimatına baxın. İstifadəçi təlimatında belə bir məlumat yoxdursa, Gaozhan metal tərəfindən verilən müvafiq təkliflərə uyğun olaraq cihazı quraşdırmağa çalışın. Hədəf fikstürünü sıxarkən, əvvəlcə əl ilə bir bolt sıxın, sonra diaqonalda başqa bir boltu əl ilə sıxın. Cihazdakı bütün boltlar bərkidilənə qədər bunu təkrarlayın və sonra bir şeylə sıxın.
4, Qısa qapanma və sıxlığın yoxlanılması
Hədəf cihazı tamamlandıqdan sonra bütün katodun qısa qapanmasını və sıxlığını yoxlamaq tələb olunur,
Müqavimət sayğacından istifadə etməklə katodda qısaqapanmanın olub olmadığını müəyyən etmək təklif olunur
Sıra ayrıseçkiliyi. Katodda qısaqapanma olmadığını təsdiq etdikdən sonra sızma aşkarlanması həyata keçirilə bilər və su sızmasının olub olmadığını təsdiqləmək üçün su katoda daxil edilə bilər.
5, Hədəf əvvəlcədən püskürtmə
Hədəfdən əvvəl püskürtmə hədəfin səthini təmizləyə bilən saf arqon püskürməsini müdafiə edir. Hədəf əvvəlcədən püskürtüldükdə, püskürtmə gücünü yavaş-yavaş artırmaq tövsiyə olunur və keramika hədəfinin güc artım sürəti 1,5WH / sm2 təşkil edir. Metal hədəfin püskürtmə sürəti keramika hədəf blokundan daha yüksək ola bilər və ağlabatan güc artım sürəti 1,5WH / sm2 təşkil edir.
Əvvəlcədən püskürtmə prosesində hədəfin qövsünü yoxlamaq lazımdır. Əvvəlcədən püskürtmə vaxtı ümumiyyətlə təxminən 10 dəqiqədir. Heç bir qövs fenomeni yoxdursa, püskürtmə gücünü davamlı olaraq artırın
Müəyyən edilmiş gücə. Təcrübəyə görə, metal hədəfin məqbul Z yüksək püskürtmə gücüdür
25watt / sm2, keramika hədəfi üçün 10watt / sm2. Lütfən, istifadəçinin sistemin istismar kitabçasında püskürtmə zamanı vakuum kamerası təzyiqinin təyini əsaslarına və təcrübəsinə baxın. Ümumiyyətlə, soyuducu suyun çıxışındakı suyun temperaturunun 35 ℃-dən aşağı olmasını təmin etmək lazımdır, lakin Z soyutma suyunun dövriyyə sisteminin effektiv işləməsini təmin etmək vacibdir.
Aşırı soyuducu suyun sürətli dövriyyəsi istiliyi götürür, bu da yüksək güclə davamlı püskürmənin təmin edilməsi üçün mühüm zəmanətdir. Metal hədəflər üçün ümumiyyətlə soyuducu su axınının olması müdafiə edilir
20lpm suyun təzyiqi təxminən 5gmp-dir; Keramika hədəfləri üçün, ümumiyyətlə, su axınının 30 lpm və su təzyiqinin təxminən 9 gmp olduğu müdafiə olunur.
6, Hədəf baxımı
Püskürtmə prosesində natəmiz boşluq nəticəsində yaranan qısaqapanmanın və qövsün qarşısını almaq üçün səpinti yolunun mərkəzində və hər iki tərəfində yığılmış sıçrayışı mərhələlərlə çıxarmaq lazımdır,
Bu, həmçinin istifadəçilərə z yüksək güc sıxlığında davamlı olaraq sıçramağa kömək edir
7, Hədəf saxlama
Gaozhan metal tərəfindən təmin edilən hədəflər ikiqat qatlı vakuumlu plastik torbalarda qablaşdırılır. Biz istifadəçilərin metal və ya keramikadan asılı olmayaraq hədəfləri vakuum qablaşdırmada saxlamasını müdafiə edirik. Xüsusilə, yapışdırıcı təbəqənin oksidləşməsinin yapışma keyfiyyətinə təsir etməməsi üçün bağlama hədəfləri vakuum şəraitində saxlanmalıdır. Metal hədəflərin qablaşdırılmasına gəldikdə, biz Z-nin təmiz plastik torbalarda qablaşdırılmasını müdafiə edirik
Göndərmə vaxtı: 13 may 2022-ci il