Sputtering hədəf texnologiyasının tətbiqi və prinsipi haqqında, bəzi müştərilər RSM ilə məsləhətləşdi, indi daha çox narahat edən bu problem üçün texniki ekspertlər bəzi xüsusi əlaqəli bilikləri bölüşürlər.
Püskürtmə hədəf tətbiqi:
Doldurucu hissəciklər (məsələn, arqon ionları) bərk səthi bombalayır, atomlar, molekullar və ya dəstələr kimi səth hissəciklərinin "sıçrama" adlanan obyektin səthindən çıxmasına səbəb olur. Magnetron püskürən örtükdə, arqon ionlaşması nəticəsində yaranan müsbət ionlar ümumiyyətlə bərki (hədəf) bombalamaq üçün istifadə olunur və püskürən neytral atomlar bir film təbəqəsi yaratmaq üçün substratda (iş parçası) yerləşdirilir. Maqnetron püskürən örtük iki xüsusiyyətə malikdir: “aşağı temperatur” və “sürətli”.
Maqnetron püskürtmə prinsipi:
Püskürən hədəf qütbü (katod) və anod arasında ortoqonal maqnit sahəsi və elektrik sahəsi əlavə olunur və tələb olunan inert qaz (adətən Ar qazı) yüksək vakuum kamerasına doldurulur. Daimi maqnit hədəf materialın səthində 250-350 Gauss maqnit sahəsi əmələ gətirir və yüksək gərginlikli elektrik sahəsi ilə ortoqonal elektromaqnit sahəsi əmələ gətirir.
Elektrik sahəsinin təsiri altında Ar qazı müsbət ionlara və elektronlara ionlaşır və hədəfdə müəyyən bir mənfi yüksək təzyiq var, buna görə də hədəf qütbündən yayılan elektronlar maqnit sahəsindən və işin ionlaşma ehtimalından təsirlənir. qaz artır. Katodun yaxınlığında yüksək sıxlıqlı plazma əmələ gəlir və Ar ionları Lorentz qüvvəsinin təsiri altında hədəf səthə doğru sürətlənir və hədəf səthini yüksək sürətlə bombalayır, beləliklə, hədəfin üzərinə püskürən atomlar hədəf səthindən yüksək sürətlə qaçır. kinetik enerji və impuls çevrilməsi prinsipinə uyğun olaraq film yaratmaq üçün substrata uçur.
Maqnetron püskürməsi ümumiyyətlə iki növə bölünür: DC püskürtmə və RF püskürtmə. DC püskürtmə avadanlığının prinsipi sadədir və metal püskürən zaman sürət tezdir. RF püskürtmənin istifadəsi keçirici materialların püskürtülməsi ilə yanaşı, həm də qeyri-keçirici materialların püskürtülməsi ilə yanaşı, oksidlərin, nitridlərin və karbidlərin və digər mürəkkəb materialların reaktiv püskürtmə hazırlanmasında daha genişdir. RF tezliyi artarsa, o, mikrodalğalı plazma sıçramasına çevrilir. Hal-hazırda elektron siklotron rezonansı (ECR) tipli mikrodalğalı plazma püskürtmə üsulundan geniş istifadə olunur.
Göndərmə vaxtı: 01 avqust 2022-ci il