نعلم جميعًا أن هناك العديد من المواصفات لهدف الرش،الذي لديه فصيل عبد الواحدنطاق بيئة تطوير متكاملة للتطبيق.Tكما أن الأصناف المستهدفة المستخدمة عادة في الصناعات المختلفة مختلفة أيضًا، فلنأتي اليوم مع بكينريشمات معًا للتعرف على تصنيف الصناعة المستهدفة الاخرق.
一、تعريف رش المواد المستهدفة
يعد الرش أحد التقنيات الرئيسية لتحضير مواد الأغشية الرقيقة. يستخدم الأيونات الناتجة عن مصدر الأيونات لتشكيل شعاع أيوني ذو طاقة عالية السرعة من خلال التجميع المتسارع في الفراغ. تتمتع الأسطح الصلبة المقذوفة والأيونات وذرات السطح الصلب بتبادل الطاقة الحركية، بحيث تترك الذرات الموجودة على السطح الصلب المادة الصلبة وتترسب على على سطح الركيزة، فإن المادة الصلبة المقذوفة هي المادة الخام لتحضير الفيلم المترسب المترسب، والمعروف باسم هدف الاخرق.
ثالثا 、التصنيف الميداني للتطبيق للمواد المستهدفة الاخرق
1、هدف أشباه الموصلات
(1)المواد شائعة الاستخدام:تشمل الأهداف الشائعة في هذا المجال التنتالوم والنحاس والتيتانيوم والألومنيوم والذهب والنيكل وغيرها من المعادن ذات نقطة الانصهار العالية.
(2)الاستخدام:تستخدم بشكل أساسي في البيانات الأصلية المهمة للدوائر المتكاملة
(3)المتطلبات الوظيفية:المتطلبات الفنية المتعلقة بالنقاء والحجم والتكامل عالية.
2 、المواد المستهدفة للعرض المستوي
(1)المواد شائعة الاستخدام:تشمل الأهداف شائعة الاستخدام في هذا المجال الألومنيوم/النحاس/الموليبدينوم/النيكل/النيوبيوم/السيليكون/الكروم، إلخ.
(2)الاستخدام:يتم استخدام هذا النوع من المواد المستهدفة بشكل أساسي في أنواع مختلفة من الأفلام ذات المساحة الكبيرة للتلفزيون والكمبيوتر المحمول.
(3)المتطلبات الوظيفية:متطلبات عالية على النقاء والمساحة الكبيرة والتوحيد وما إلى ذلك.
3、أهداف للخلايا الشمسية
(1)المواد شائعة الاستخدام:تُستخدم أهداف الألومنيوم / النحاس / الموليبدينوم / الكروم / ITO / Ta بشكل شائع في الخلايا الشمسية.
(2)الاستخدام:تستخدم بشكل رئيسي في "طبقة النافذة"، الطبقة الحاجزة، القطب الكهربائي والفيلم الموصل وغيرها من المناسبات.
(3)المتطلبات الوظيفية:متطلبات مهارة عالية، مجموعة واسعة من الاستخدام.
4、المواد المستهدفة لتخزين المعلومات
(1)المواد شائعة الاستخدام:تخزين المعلومات يشيع استخدام المواد المستهدفة الكوبالت / النيكل / السبائك الحديدية / الكروم / التيلوريوم / السيلينيوم.
(2)الاستخدام:يتم استخدام المادة المستهدفة هنا بشكل أساسي للرأس والطبقة الوسطى والطبقة السفلية للأقراص المضغوطة والأقراص المضغوطة.
(3) المتطلبات الوظيفية:مطلوب كثافة تخزين عالية وسرعة نقل عالية.
5、المواد المستهدفة لتعديل الأداة
(1)المواد شائعة الاستخدام:تعديل أداة التيتانيوم / الزركونيوم / شعرية / سبائك الألومنيوم والكروم وغيرها من الأهداف.
(2)الاستخدام:وعادة ما يستخدم لتحسين المظهر.
(3)المتطلبات الوظيفية:متطلبات وظيفية عالية، الخدمة الطويلة في الحياة.
6、المواد المستهدفة للأجهزة الإلكترونية
(1)المواد شائعة الاستخدام:تُستخدم أهداف سبائك الألومنيوم/مبيد السيليكات بشكل شائع في الأجهزة الإلكترونية
(2)الاستخدام:تستخدم عادة لمقاومات الفيلم والمكثفات.
(3)المتطلبات الوظيفية:حجم صغير، استقرار، معامل درجة حرارة منخفض المقاومة
وقت النشر: 21 أبريل 2022