الآن أصبح المزيد والمزيد من المستخدمين يفهمون أنواع الأهداف وتطبيقاتها، ولكن تقسيمها قد لا يكون واضحا جدا. الآن دعونامهندس آر إس إم أشارككمبعض الحث أهداف الاخرق المغنطرون.
هدف الاخرق: هدف طلاء الاخرق المعدني، هدف طلاء الاخرق سبيكة، هدف طلاء الاخرق السيراميك، هدف الاخرق السيراميك البوريد، هدف الاخرق السيراميك كربيد، هدف الاخرق السيراميك الفلورايد، هدف الاخرق السيراميك نيتريد، هدف السيراميك أكسيد، هدف الاخرق السيراميك سيلينيد، الاخرق السيراميك سيليسيد هدف، هدف رش سيراميك الكبريتيد، هدف رش سيراميك التيلوريد، أهداف سيراميك أخرى، سيراميك أكسيد السيليكون المخدر بالكروم الهدف (CR SiO)، هدف فوسفيد الإنديوم (INP)، هدف زرنيخيد الرصاص (pbas)، هدف زرنيخيد الإنديوم (InAs).
ينقسم الرش بالمغنطرون بشكل عام إلى نوعين: الرش بالتيار المستمر و الرش بالترددات اللاسلكية. مبدأ معدات الرش بالتيار المستمر بسيط، كما أن معدلها سريع أيضًا عند رش المعادن. يتم استخدام الاخرق RF على نطاق واسع. بالإضافة إلى تناثر البيانات الموصلة، يمكنها أيضًا تناثر البيانات غير الموصلة. يمكن أيضًا استخدام هدف الرش في الرش التفاعلي لإعداد البيانات المركبة مثل الأكاسيد والنيتريدات والكربيدات. إذا زاد تردد التردد اللاسلكي، فسوف يتحول إلى بلازما ميكروويف. في الوقت الحاضر، يتم استخدام بلازما الميكروويف بالرنين السيكلوتروني الإلكتروني (ECR) بشكل شائع.
وقت النشر: 26-مايو-2022