ما هي متطلبات الأداء للهدف

الهدف له سوق واسع ومنطقة تطبيق وتطوير كبير في المستقبل. من أجل مساعدتك في الحصول على فهم أفضل لوظائف الهدف، سيقدم مهندس RSM هنا أدناه بإيجاز المتطلبات الوظيفية الرئيسية للهدف.

النقاء: تعتبر النقاء من المؤشرات الوظيفية الرئيسية للهدف، لأن نقاء الهدف له تأثير كبير على وظيفة الفيلم. ومع ذلك، في التطبيق العملي، متطلبات نقاء الهدف مختلفة أيضًا. على سبيل المثال، مع التطور السريع لصناعة الإلكترونيات الدقيقة، تم توسيع حجم رقاقة السيليكون من 6 بوصة إلى 8 بوصة إلى 12 بوصة، وتم تقليل عرض الأسلاك من 0.5 مم إلى 0.25 مم، 0.18 مم أو حتى 0.13 مم. في السابق، كان بإمكان 99.995% من النقاء المستهدف تلبية متطلبات العملية البالغة 0.35 ميكرومتر، بينما يتطلب تحضير خطوط 0.18 ميكرومتر 99.999% أو حتى 99.9999% من النقاء المستهدف.

محتوى الشوائب: الشوائب الموجودة في المواد الصلبة المستهدفة والأكسجين وبخار الماء في المسام هي مصادر التلوث الرئيسية للأغشية المترسبة. الأهداف لأغراض مختلفة لها متطلبات مختلفة لمحتويات الشوائب المختلفة. على سبيل المثال، أهداف الألومنيوم النقي وسبائك الألومنيوم المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لها متطلبات خاصة لمحتوى الفلز القلوي ومحتوى العناصر المشعة.

الكثافة: من أجل تقليل المسام الموجودة في المادة الصلبة المستهدفة وتحسين وظيفة طبقة الرش، عادةً ما يُطلب من الهدف أن يكون ذو كثافة عالية. لا تؤثر كثافة الهدف على معدل الخرق فحسب، بل تؤثر أيضًا على الوظائف الكهربائية والضوئية للفيلم. كلما زادت كثافة الهدف، كانت وظيفة الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك، تم تحسين كثافة وقوة الهدف بحيث يتمكن الهدف من قبول الضغط الحراري بشكل أفضل في عملية الرش. تعد الكثافة أيضًا أحد المؤشرات الوظيفية الرئيسية للهدف.