ما هي الخصائص والمبادئ التقنية لمواد الطلاء المستهدفة

الطبقة الرقيقة الموجودة على الهدف المطلي هي عبارة عن شكل مادي خاص. في الاتجاه المحدد للسمك، يكون المقياس صغيرًا جدًا، وهو كمية مجهرية قابلة للقياس. بالإضافة إلى ذلك، بسبب مظهر وواجهة سمك الفيلم، تنتهي استمرارية المواد، مما يجعل بيانات الفيلم والبيانات المستهدفة لها خصائص مشتركة مختلفة. والهدف هو بشكل أساسي استخدام طلاء الرش المغنطروني، سوف يأخذنا محرر Beijing Richmat إلى فهم مبدأ ومهارات الطلاء الاخرق.

　　一、مبدأ طلاء الاخرق

تتمثل مهارة الطلاء بالرش في استخدام مظهر الهدف بالقصف الأيوني، حيث يتم ضرب ذرات الهدف من الظاهرة المعروفة باسم الاخرق. تسمى الذرات المترسبة على سطح الركيزة طلاء الاخرق. بشكل عام، يتم إنتاج تأين الغاز عن طريق تفريغ الغاز، وتقوم الأيونات الموجبة بقصف هدف الكاثود بسرعة عالية تحت تأثير المجال الكهربائي، مما يؤدي إلى ضرب ذرات أو جزيئات الكاثود. هدف الكاثود، ويطير إلى سطح الركيزة ليتم إيداعه في فيلم. ببساطة، يستخدم طلاء الاخرق تفريغ توهج الغاز الخامل منخفض الضغط لتوليد الأيونات.

بشكل عام، تم تجهيز معدات طلاء الأفلام المترشقة بقطبين كهربائيين في غرفة تفريغ مفرغة، ويتكون هدف الكاثود من بيانات الطلاء. تمتلئ غرفة التفريغ بغاز الأرجون بضغط يتراوح من 0.1 إلى 10 باسكال. يحدث تفريغ التوهج عند الكاثود تحت تأثير الجهد العالي السلبي الذي يبلغ 1 ~ 3 كيلو فولت تيار مستمر أو جهد التردد اللاسلكي البالغ 13.56 ميجا هرتز. تقصف أيونات الأرجون السطح المستهدف وتتسبب في تراكم ذرات الهدف المتناثرة على الركيزة.

　　3 、 خصائص مهارات الطلاء الاخرق

1 、 سرعة التراص السريع

الفرق بين القطب الكهربائي المغنطروني عالي السرعة والقطب الكهربائي التقليدي ذو المرحلتين هو أن المغناطيس يتم ترتيبه أسفل الهدف، لذلك يحدث المجال المغناطيسي المغلق غير المستوي على سطح الهدف. قوة لورنتز على الإلكترونات تتجه نحو المركز للمجال المغناطيسي غير المتجانس. وبسبب تأثير التركيز، تقل نسبة هروب الإلكترونات. يدور المجال المغناطيسي غير المتجانس حول السطح المستهدف، وتتصادم الإلكترونات الثانوية التي يتم التقاطها في المجال المغناطيسي غير المتجانس مع جزيئات الغاز بشكل متكرر، مما يحسن معدل التحويل العالي لجزيئات الغاز. لذلك، يستهلك رش المغنطرون عالي السرعة طاقة منخفضة، ولكن يمكن الحصول على كفاءة طلاء كبيرة، مع خصائص التفريغ المثالية.

2-درجة حرارة الركيزة منخفضة

رش المغنطرون عالي السرعة، المعروف أيضًا باسم رش درجة الحرارة المنخفضة. والسبب هو أن الجهاز يستخدم تفريغات في مساحة من المجالات الكهرومغناطيسية المتقابلة مباشرة مع بعضها البعض. الإلكترونات الثانوية التي تتواجد خارج الهدف، موجودة في بعضها البعض. تحت تأثير المجال الكهرومغناطيسي المستقيم، يتم ربطها بالقرب من سطح الهدف وتتحرك على طول المدرج في خط دائري متدحرج، وتضرب بشكل متكرر جزيئات الغاز لتأيين جزيئات الغاز. تفقد الإلكترونات نفسها معًا طاقتها تدريجيًا، من خلال المطبات المتكررة، حتى تفقد طاقتها بالكامل تقريبًا قبل أن تتمكن من الهروب من سطح الهدف بالقرب من الركيزة. ونظرًا لأن طاقة الإلكترونات منخفضة جدًا، فإن درجة حرارة الهدف لا ترتفع كثيرًا. وهذا يكفي لمواجهة ارتفاع درجة حرارة الركيزة الناجم عن القصف الإلكتروني عالي الطاقة لطلقة الصمام الثنائي العادي، والتي تكمل عملية التجميد.

3 、 مجموعة واسعة من الهياكل الغشائية

يختلف هيكل الأغشية الرقيقة التي يتم الحصول عليها عن طريق التبخير الفراغي والترسيب بالحقن تمامًا عن تلك التي يتم الحصول عليها عن طريق ترقق المواد الصلبة السائبة. وعلى النقيض من المواد الصلبة الموجودة بشكل عام، والتي تصنف على أنها نفس البنية بشكل أساسي في ثلاثة أبعاد، فإن الأفلام المترسبة في الطور الغازي تصنف على أنها هياكل غير متجانسة. والأغشية الرقيقة عمودية ويمكن فحصها عن طريق المجهر الإلكتروني الماسح. يحدث النمو العمودي للفيلم بسبب السطح المحدب الأصلي للركيزة وبعض الظلال في الأجزاء البارزة من الركيزة. ومع ذلك، فإن شكل وحجم العمود مختلفان تمامًا بسبب درجة حرارة الركيزة، والتشتت السطحي للذرات المكدسة، ودفن ذرات الشوائب، وزاوية الذرات الحادثة بالنسبة لسطح الركيزة. في نطاق درجة الحرارة المفرطة، يكون للفيلم الرقيق هيكل ليفي، عالي الكثافة، يتكون من بلورات عمودية دقيقة، وهو الهيكل الفريد للفيلم المتطاير.

يؤثر ضغط الرش وسرعة تكديس الفيلم أيضًا على بنية الفيلم. نظرًا لأن جزيئات الغاز لها تأثير على قمع تشتت الذرات على سطح الركيزة، فإن تأثير ضغط الاخرق العالي مناسب لانخفاض درجة حرارة الركيزة في النموذج. ولذلك، يمكن الحصول على الأفلام المسامية التي تحتوي على الحبوب الدقيقة عند ضغط الاخرق العالي. هذا الفيلم ذو الحجم الصغير للحبيبات مناسب للتشحيم، ومقاومة التآكل، وتصلب السطح والتطبيقات الميكانيكية الأخرى.

4 、 ترتيب التكوين بالتساوي

المركبات والمخاليط والسبائك وما إلى ذلك، والتي يصعب بشكل مناسب تغطيتها عن طريق التبخير الفراغي لأن ضغط البخار للمكونات مختلف أو لأنها تختلف عند تسخينها. طريقة الطلاء بالرش هي جعل الطبقة السطحية المستهدفة من الذرات طبقة تلو الأخرى إلى الركيزة، وبهذا المعنى هو أكثر كمالا مهارات صنع الفيلم. يمكن استخدام جميع أنواع المواد في إنتاج الطلاء الصناعي عن طريق الرش.