وظائف الأهداف في الترسيب الكهربائي الفراغي

الهدف له وظائف عديدة وتطبيقات واسعة في العديد من المجالات. تستخدم معدات الرش الجديدة تقريبًا مغناطيسات قوية لتسريع الإلكترونات لتسريع تأين الأرجون حول الهدف، مما يزيد من احتمالية الاصطدام بين الهدف وأيونات الأرجون،

زيادة معدل الاخرق. بشكل عام، يتم استخدام الرش بالتيار المستمر لطلاء المعادن، بينما يتم استخدام الرش بالتردد اللاسلكي للمواد المغناطيسية الخزفية غير الموصلة. المبدأ الأساسي هو استخدام تفريغ التوهج لضرب أيونات الأرجون (AR) على سطح الهدف في الفراغ، وسوف تتسارع الكاتيونات الموجودة في البلازما لتندفع إلى سطح القطب السالب مثل المادة المتناثرة. سيؤدي هذا التأثير إلى جعل مادة الهدف تتطاير وتترسب على الركيزة لتكوين فيلم.

بشكل عام، هناك العديد من ميزات طلاء الفيلم باستخدام عملية الاخرق:

(1) يمكن تحويل المعدن أو السبائك أو العازل إلى بيانات رقيقة.

(2) في ظل ظروف الإعداد المناسبة، يمكن إنتاج الفيلم بنفس التركيبة من أهداف متعددة وغير منظمة.

(3) يمكن تصنيع خليط أو مركب المادة المستهدفة وجزيئات الغاز عن طريق إضافة الأكسجين أو الغازات النشطة الأخرى في جو التفريغ.

(4) يمكن التحكم في تيار الإدخال المستهدف ووقت الاخرق، ومن السهل الحصول على سمك الفيلم عالي الدقة.

(5) يفيد في إنتاج أفلام أخرى.

(6) بالكاد تتأثر الجسيمات المتناثرة بالجاذبية، ويمكن تنظيم الهدف والركيزة بحرية.