الاستخدام الواسع النطاق للمواد المستهدفة في مختلف المهن يجعل الطلب على المواد المستهدفة أعلى وأعلى. ما يلي ونحن سوف أعرض لفترة وجيزة أنت ما هي المتطلبات الوظيفية الأساسية للهدف، قفزعمل لمساعدتك.
النقاء: تعتبر النقاء من المؤشرات الوظيفية الأساسية للهدف، لأن نقاء الهدف له تأثير كبير على وظيفة الفيلم. ولكن من الناحية العملية، فإن نقاء المادة المستهدفة ليس هو نفسه. على سبيل المثال، مع النمو السريع لمهنة الإلكترونيات الدقيقة، تطور حجم رقاقة السيليكون من 6 بوصة، 8 بوصة إلى 12 بوصة، وانخفض عرض الأسلاك من 0.5 مم إلى 0.25 مم، 0.18 مم وحتى 0.13 مم. بمجرد أن يتمكن 99.995% من النقاء المستهدف من تلبية المتطلبات التكنولوجية لـ 0.35UMIC. يتطلب تحضير خط 0.18um نقاء المادة المستهدفة بنسبة 99.999% أو حتى 99.9999%.
الكثافة: من أجل تقليل المسامية في المادة الصلبة المستهدفة وتحسين وظيفة الغشاء المتطاير، عادةً ما يُطلب من الهدف أن يكون ذو كثافة عالية. لا تؤثر الكثافة المستهدفة على معدل الرش فحسب، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والضوئية للأفلام. كلما زادت كثافة الهدف، كانت وظيفة الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك، تمت زيادة كثافة وقوة المادة المستهدفة لجعلها أكثر قدرة على تحمل الضغط الحراري أثناء الرش. تعد الكثافة أيضًا أحد المؤشرات الوظيفية المهمة للمواد المستهدفة.
محتوى الشوائب: الشوائب الموجودة في المادة الصلبة المستهدفة والأكسجين وبخار الماء في المسام هي مصادر التلوث الأساسية للأغشية المتراكمة. المواد المستهدفة المختلفة لأغراض مختلفة لها متطلبات مختلفة لمحتوى الشوائب المختلفة. على سبيل المثال، فإن أهداف الألومنيوم النقي وسبائك الألومنيوم المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لها متطلبات خاصة لمحتوى الفلز القلوي ومحتوى العناصر المشعة.
وقت النشر: 06 يونيو 2022