مبدأ طلاء الفراغ

يشير الطلاء الفراغي إلى تسخين وتبخير مصدر التبخر في الفراغ أو الرش بالقصف الأيوني المتسارع، وترسيبه على سطح الركيزة لتشكيل طبقة واحدة أو طبقة متعددة الطبقات. ما هو مبدأ طلاء الفراغ؟ بعد ذلك، سيقدمه لنا محرر RSM.

　　1. طلاء التبخر الفراغي

يتطلب طلاء التبخر أن تكون المسافة بين جزيئات أو ذرات البخار من مصدر التبخر والركيزة المراد طلاءها أقل من متوسط ​​المسار الحر لجزيئات الغاز المتبقية في غرفة الطلاء، وذلك لضمان أن جزيئات البخار من يمكن أن يصل التبخر إلى سطح الركيزة دون الاصطدام. تأكد من أن الفيلم نقي وثابت وأن التبخر لن يتأكسد.

　　2. طلاء الاخرق فراغ

في الفراغ، عندما تصطدم الأيونات المتسارعة بالمادة الصلبة، تتضرر البلورة من ناحية، ومن ناحية أخرى تصطدم بالذرات التي تتكون منها البلورة، وأخيرًا الذرات أو الجزيئات الموجودة على سطح المادة الصلبة تتدفق إلى الخارج. يتم طلاء المادة المتناثرة على الركيزة لتشكيل طبقة رقيقة، وهو ما يسمى الطلاء بالرش الفراغي. هناك العديد من طرق الرش، من بينها الرش بالصمام الثنائي هو الأقدم. وفقًا لأهداف الكاثود المختلفة، يمكن تقسيمه إلى تيار مباشر (DC) وتردد عالي (RF). ويسمى عدد الذرات المتطايرة عن طريق التأثير على السطح المستهدف بأيون بمعدل الاخرق. مع معدل الرش العالي، فإن سرعة تشكيل الفيلم تكون سريعة. ويرتبط معدل الاخرق بالطاقة ونوع الأيونات ونوع المادة المستهدفة. بشكل عام، يزيد معدل الرش مع زيادة طاقة الأيونات البشرية، ويكون معدل الرش في المعادن الثمينة أعلى.