تكنولوجيا التحضير وتطبيق هدف التنغستن عالي النقاء

نظرًا لاستقرار درجات الحرارة العالية ومقاومة هجرة الإلكترون العالية ومعامل انبعاث الإلكترون العالي لسبائك التنجستن والتنغستن المقاومة للحرارة، تُستخدم أهداف التنغستن وسبائك التنغستن عالية النقاء بشكل أساسي لتصنيع أقطاب البوابة وأسلاك التوصيل وطبقات حاجز الانتشار وما إلى ذلك من أشباه الموصلات الدوائر المتكاملة، ولها متطلبات عالية للنقاء، ومحتوى عنصر الشوائب، والكثافة، وحجم الحبوب وتوحيد بنية الحبوب للمواد. الآن دعونا نلقي نظرة على العوامل التي تؤثر على إعداد هدف التنغستن عالي النقاء.

　　1 、 تأثير درجة حرارة التلبيد

تتم عملية تشكيل جنين التنغستن المستهدف بشكل عام عن طريق الضغط المتوازن على البارد. سوف تنمو حبوب التنغستن أثناء عملية التلبيد. نمو حبيبات التنغستن سوف يملأ الفجوة بين حدود الحبوب، وبالتالي تحسين كثافة هدف التنغستن. مع زيادة أوقات التلبيد، تتباطأ زيادة كثافة هدف التنغستن تدريجيا. السبب الرئيسي هو أنه بعد التلبيد المتعدد، لم تتغير جودة هدف التنغستن كثيرًا. نظرًا لأن معظم الفراغات الموجودة في حدود الحبوب مملوءة ببلورات التنغستن، بعد كل تلبيد، كان معدل تغير الحجم الإجمالي لهدف التنغستن صغيرًا جدًا، مما أدى إلى مساحة محدودة لزيادة كثافة هدف التنغستن. مع عملية التلبيد، يتم ملء حبيبات التنغستن المزروعة في الفراغات، مما يؤدي إلى كثافة أعلى للهدف مع حجم جسيمات أصغر.

　　2- تأثير عقد الوقت

في نفس درجة حرارة التلبيد، سيتم تحسين ضغط هدف التنغستن مع إطالة وقت عقد التلبيد. مع إطالة وقت الاحتفاظ، سيزيد حجم حبيبات التنغستن، ومع إطالة وقت الاحتفاظ، ستتباطأ أوقات نمو حجم الحبوب تدريجيًا، مما يعني أن زيادة وقت الاحتفاظ يمكن أن يؤدي أيضًا إلى تحسين أداء هدف التنغستن

　　3- تأثير التدحرج على خصائص الهدف

من أجل تحسين كثافة مادة التنغستن المستهدفة والحصول على هيكل معالجة مادة التنغستن المستهدفة، يجب أن يتم تنفيذ درفلة مادة التنغستن المستهدفة بدرجة حرارة متوسطة تحت درجة حرارة إعادة البلورة. إذا كانت درجة حرارة التدحرج للقطعة المستهدفة عالية، فإن بنية الألياف للقطعة المستهدفة ستكون خشنة، والعكس صحيح. عندما يصل معدل الدرفلة الدافئة إلى أكثر من 95%. على الرغم من أنه سيتم القضاء على الاختلاف في بنية الألياف الناجم عن الحبوب الأصلية المختلفة أو درجات حرارة التدحرج المختلفة، فإن الهيكل الداخلي للهدف سيشكل بنية ألياف موحدة نسبيًا، وبالتالي كلما ارتفع معدل معالجة الدرفلة الدافئة، كان أداء الهدف أفضل.