الخصائص الرئيسية لرش المواد المستهدفة

يجب أن نكون على دراية تامة بالهدف الآن، والآن يتزايد السوق المستهدف أيضًا، وفيما يلي ما هو الأداء الرئيسي لهدف الرش الذي يشاركه المحرر من RSM

　　النقاء

تعتبر نقاء المادة المستهدفة أحد مؤشرات الأداء الرئيسية، لأن نقاء المادة المستهدفة لها تأثير كبير على أداء الفيلم الرقيق. ومع ذلك، في التطبيق العملي، متطلبات نقاء المواد المستهدفة ليست هي نفسها. على سبيل المثال، مع التطور السريع لصناعة الإلكترونيات الدقيقة، تم تطوير حجم شريحة السيليكون من 6 بوصة، 8 بوصة إلى 12 بوصة، وتم تقليل عرض الأسلاك من 0.5 مم إلى 0.25 مم، 0.18 مم أو حتى 0.13 مم. في السابق، كان نقاء المادة المستهدفة بنسبة 99.995% يمكن أن يلبي متطلبات العملية البالغة 0.35umIC. درجة نقاء المادة المستهدفة هي 99.999% أو حتى 99.9999% لتحضير خطوط 0.18um.

　　محتوى النجاسة

تعد الشوائب الموجودة في المادة الصلبة المستهدفة والأكسجين وبخار الماء في المسام مصادر التلوث الرئيسية لترسب الأفلام. المواد المستهدفة لأغراض مختلفة لها متطلبات مختلفة لمحتوى الشوائب المختلفة. على سبيل المثال، فإن أهداف الألومنيوم النقي وسبائك الألومنيوم المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لها متطلبات خاصة لمحتوى المعادن القلوية والعناصر المشعة.

　　الكثافة

من أجل تقليل المسامية في الهدف الصلب وتحسين أداء فيلم الاخرق، عادة ما تكون الكثافة العالية للهدف مطلوبة. لا تؤثر كثافة الهدف على معدل الرش فحسب، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم. كلما زادت كثافة الهدف، كان أداء الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك، فإن زيادة كثافة الهدف وقوته تجعل الهدف يتحمل بشكل أفضل الضغط الحراري في عملية الرش. تعد الكثافة أيضًا أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للهدف.

　　حجم الحبوب وتوزيع حجم الحبوب

عادة ما يكون الهدف متعدد البلورات ويتراوح حجم الحبيبات من ميكرومتر إلى ملليمتر. بالنسبة لنفس الهدف، يكون معدل الاخرق للهدف ذو الحبوب الصغيرة أسرع من الهدف ذو الحبوب الكبيرة. يكون توزيع سمك الأفلام المودعة بواسطة هدف الاخرق مع اختلاف حجم الحبوب الأصغر (التوزيع الموحد) أكثر اتساقًا.