الهدف له تأثيرات عديدة، ومساحة تطوير السوق كبيرة. إنه مفيد جدًا في العديد من المجالات. تستخدم جميع معدات الرش الجديدة تقريبًا مغناطيسات قوية لتدوير الإلكترونات لتسريع تأين الأرجون حول الهدف، مما يؤدي إلى زيادة احتمالية الاصطدام بين الهدف وأيونات الأرجون. الآن دعونا نلقي نظرة على دور الهدف الاخرق في طلاء الفراغ.
تحسين معدل الاخرق. بشكل عام، يتم استخدام الرش بالتيار المستمر لطلاء المعادن، في حين يتم استخدام الرش بالتيار المتردد RF للمواد المغناطيسية الخزفية غير الموصلة. المبدأ الأساسي هو استخدام تفريغ التوهج لضرب أيونات الأرجون (AR) على سطح الهدف في الفراغ، وسوف تتسارع الكاتيونات الموجودة في البلازما لتندفع إلى سطح القطب السالب مثل المادة المتناثرة. سيؤدي هذا التأثير إلى جعل مادة الهدف تتطاير وتترسب على الركيزة لتكوين فيلم.
بشكل عام، هناك العديد من خصائص طلاء الفيلم عن طريق عملية الرش: (1) يمكن تحويل المعدن أو السبائك أو العازل إلى بيانات الفيلم.
(2) في ظل ظروف الإعداد المناسبة، يمكن إنتاج الفيلم بنفس التركيبة من أهداف متعددة وغير منظمة.
(3) يمكن إنتاج خليط أو مركب المادة المستهدفة وجزيئات الغاز عن طريق إضافة الأكسجين أو الغازات النشطة الأخرى في جو التفريغ.
(4) يمكن التحكم في تيار الإدخال المستهدف ووقت الاخرق، ومن السهل الحصول على سمك الفيلم عالي الدقة.
(5) بالمقارنة مع العمليات الأخرى، فهو يفضي إلى إنتاج أفلام موحدة ذات مساحة كبيرة.
(6) لا تتأثر الجسيمات المتناثرة تقريبًا بالجاذبية، ويمكن ترتيب مواقع الهدف والركيزة بحرية.
وقت النشر: 17-مايو-2022