آفاق تطوير هدف النحاس عالي النقاء

في الوقت الحاضر، تقريبًا جميع أهداف النحاس المعدنية فائقة النقاء المتطورة التي تتطلبها صناعة IC تحتكرها العديد من الشركات الأجنبية الكبيرة متعددة الجنسيات. يجب استيراد جميع أهداف النحاس فائق النقاء التي تحتاجها صناعة IC المحلية، وهو أمر ليس باهظ الثمن فحسب، بل معقد أيضًا في إجراءات الاستيراد. لذلك، تحتاج الصين بشكل عاجل إلى تحسين تطوير أهداف رش النحاس فائقة النقاء (6N) والتحقق منها . دعونا نلقي نظرة على النقاط والصعوبات الرئيسية في تطوير أهداف رش النحاس فائقة النقاء (6N).

1、تطوير مواد فائقة النقاء

إن تكنولوجيا تنقية معادن Cu وAl وTa عالية النقاء في الصين بعيدة كل البعد عن تلك الموجودة في البلدان الصناعية المتقدمة. في الوقت الحاضر، لا يمكن لمعظم المعادن عالية النقاء التي يمكن توفيرها تلبية متطلبات الجودة للدوائر المتكاملة لأهداف الرش وفقًا لطرق تحليل جميع العناصر التقليدية في الصناعة. عدد التضمينات في الهدف مرتفع جدًا أو موزع بشكل غير متساوٍ. غالبًا ما تتشكل الجزيئات على الرقاقة أثناء الرش، مما يؤدي إلى حدوث ماس كهربائى أو دائرة مفتوحة من التوصيل البيني، مما يؤثر بشكل خطير على أداء الفيلم.

2、تطوير تكنولوجيا إعداد هدف رش النحاس

يركز تطوير تقنية إعداد هدف رش النحاس بشكل أساسي على ثلاثة جوانب: حجم الحبوب والتحكم في الاتجاه والتوحيد. تتمتع صناعة أشباه الموصلات بأعلى المتطلبات لأهداف الرش وتبخير المواد الخام. لديها متطلبات صارمة للغاية للتحكم في حجم حبيبات السطح واتجاه بلورة الهدف. يجب التحكم في حجم حبيبات الهدف عند 100μ M أدناه، لذلك فإن التحكم في حجم الحبوب ووسائل تحليل الارتباط والكشف مهمان جدًا لتطوير الأهداف المعدنية.

3、تطوير التحليل واختبار تكنولوجيا

النقاء العالي للهدف يعني تقليل الشوائب. في الماضي، تم استخدام البلازما المقترنة حثيًا (ICP) ومطياف الامتصاص الذري لتحديد الشوائب، ولكن في السنوات الأخيرة، تم استخدام تحليل جودة تفريغ التوهج (GDMS) بحساسية أعلى تدريجيًا كمعيار قياسي. طريقة. تُستخدم طريقة RRR لنسبة المقاومة المتبقية بشكل أساسي لتحديد النقاء الكهربائي. مبدأ تحديده هو تقييم نقاء المعدن الأساسي عن طريق قياس درجة التشتت الإلكتروني للشوائب. نظرًا لأنه لقياس المقاومة في درجة حرارة الغرفة ودرجة حرارة منخفضة جدًا، فمن السهل أخذ الرقم. في السنوات الأخيرة، من أجل استكشاف جوهر المعادن، فإن الأبحاث حول النقاء العالي للغاية نشطة للغاية. في هذه الحالة، قيمة RRR هي أفضل طريقة لتقييم النقاء.