تصنيفات وتطبيقات أهداف الرش بالمغنيترون

　　1. طريقة الرش بالمغنطرون:

يمكن تقسيم الرش بالمغنطرون إلى رش بالتيار المستمر، و رش بالتردد المتوسط، و رش بالترددات اللاسلكية

أ. إن مصدر الطاقة المتقطع بالتيار المستمر رخيص وكثافة الفيلم المترسب ضعيفة. بشكل عام، يتم استخدام البطاريات الحرارية المنزلية والبطاريات ذات الأغشية الرقيقة ذات الطاقة المنخفضة، وهدف الاخرق هو هدف معدني موصل.

ب. طاقة تناثر الترددات اللاسلكية عالية، ويمكن أن يكون هدف الخرق هدفًا غير موصل أو هدفًا موصلًا.

ج. يمكن أن يكون هدف الرش ذو التردد المتوسط ​​هدفًا سيراميكيًا أو هدفًا معدنيًا.

　　2. تصنيف وتطبيق أهداف الاخرق

هناك العديد من أنواع الأهداف المتطايرة، كما تختلف طرق تصنيف الأهداف أيضًا. وفقا للشكل، يتم تقسيمها إلى هدف طويل، هدف مربع وهدف مستدير؛ وفقًا للتركيبة، يمكن تقسيمها إلى هدف معدني، وهدف من السبائك، وهدف مركب من السيراميك؛ وفقًا لمجالات التطبيق المختلفة، يمكن تقسيمها إلى أهداف سيراميكية ذات صلة بأشباه الموصلات، وتسجيل أهداف سيراميك متوسطة، وعرض أهداف سيراميك، وما إلى ذلك. تُستخدم أهداف الرش بشكل أساسي في الصناعات الإلكترونية والمعلوماتية، مثل صناعة تخزين المعلومات. في هذه الصناعة، يتم استخدام أهداف الرش لإعداد منتجات الأغشية الرقيقة ذات الصلة (القرص الصلب، الرأس المغناطيسي، القرص البصري، وما إلى ذلك). في الوقت الحالي. مع التطور المستمر لصناعة المعلومات، يتزايد الطلب على تسجيل الأهداف الخزفية المتوسطة في السوق. أصبح البحث وإنتاج تسجيل الأهداف المتوسطة محط اهتمام واسع النطاق.