المتطلبات المميزة لهدف رش الموليبدينوم

في الآونة الأخيرة، سأل العديد من الأصدقاء عن خصائص أهداف رش الموليبدينوم. في الصناعة الإلكترونية، من أجل تحسين كفاءة الرش وضمان جودة الأفلام المودعة، ما هي متطلبات خصائص أهداف الرش الموليبدينوم؟ الآن سوف يشرح لنا الخبراء الفنيون من RSM ذلك.

　　1. الطهارة

النقاء العالي هو الشرط المميز الأساسي لهدف رش الموليبدينوم. كلما زاد نقاء هدف الموليبدينوم، كان أداء الفيلم المرشوش أفضل. بشكل عام، يجب أن يكون نقاء هدف رش الموليبدينوم 99.95% على الأقل (الكسر الشامل، هو نفسه أدناه). ومع ذلك، مع التحسين المستمر لحجم الركيزة الزجاجية في صناعة شاشات الكريستال السائل، يلزم تمديد طول الأسلاك ويجب أن يكون عرض الخط أرق. من أجل ضمان توحيد الفيلم وجودة الأسلاك، مطلوب أيضًا زيادة نقاء هدف رش الموليبدينوم وفقًا لذلك. لذلك، وفقًا لحجم الركيزة الزجاجية المرشوش وبيئة الاستخدام، يجب أن تكون نقاء هدف رش الموليبدينوم 99.99% - 99.999% أو حتى أعلى.

يتم استخدام هدف رش الموليبدينوم كمصدر للكاثود في عملية الرش. تعد الشوائب الصلبة والأكسجين وبخار الماء الموجودة في المسام مصادر التلوث الرئيسية للأغشية المترسبة. بالإضافة إلى ذلك، في الصناعة الإلكترونية، نظرًا لسهولة تحول أيونات المعادن القلوية (Na، K) إلى أيونات متحركة في الطبقة العازلة، ينخفض ​​أداء الجهاز الأصلي؛ سيتم إطلاق عناصر مثل اليورانيوم (U) والتيتانيوم (TI) بالأشعة السينية، مما يؤدي إلى انهيار بسيط للأجهزة؛ سوف تتسبب أيونات الحديد والنيكل في تسرب الواجهة وزيادة عناصر الأكسجين. لذلك، في عملية إعداد هدف رش الموليبدينوم، يجب التحكم بشكل صارم في عناصر الشوائب هذه لتقليل محتواها في الهدف.

　　2. حجم الحبوب وتوزيع حجمها

بشكل عام، هدف رش الموليبدينوم هو هيكل متعدد البلورات، ويمكن أن يتراوح حجم الحبوب من ميكرون إلى ملليمتر. تظهر النتائج التجريبية أن معدل الاخرق لهدف الحبوب الناعمة أسرع من هدف الحبوب الخشنة؛ بالنسبة للهدف الذي يتميز باختلاف صغير في حجم الحبوب، يكون توزيع سمك الفيلم المترسب أكثر اتساقًا أيضًا.

　　3. التوجه البلوري

نظرًا لأنه من السهل رش الذرات المستهدفة بشكل تفضيلي على طول اتجاه أقرب ترتيب للذرات في الاتجاه السداسي أثناء الرش، فمن أجل تحقيق أعلى معدل رش، غالبًا ما يتم زيادة معدل الرش عن طريق تغيير البنية البلورية للهدف. الاتجاه البلوري للهدف له أيضًا تأثير كبير على تجانس سمك الفيلم المرشوش. لذلك، من المهم جدًا الحصول على بنية مستهدفة معينة موجهة بشكل كريستالي لعملية رش الفيلم.

　　4. التكثيف

في عملية الطلاء بالرش، عندما يتم قصف هدف الرش بكثافة منخفضة، يتم إطلاق الغاز الموجود في المسام الداخلية للهدف فجأة، مما يؤدي إلى تناثر جزيئات أو جزيئات الهدف كبيرة الحجم، أو يتم قصف مادة الفيلم بواسطة الإلكترونات الثانوية بعد تكوين الفيلم، مما يؤدي إلى تناثر الجسيمات. ظهور هذه الجزيئات سوف يقلل من جودة الفيلم. من أجل تقليل المسام الموجودة في المادة الصلبة المستهدفة وتحسين أداء الفيلم، يجب عمومًا أن يكون هدف الرش ذو كثافة عالية. بالنسبة لهدف رش الموليبدينوم، يجب أن تكون كثافته النسبية أكثر من 98%.

　　5. ربط الهدف والهيكل

بشكل عام، يجب أن يكون هدف رش الموليبدينوم متصلاً بهيكل النحاس الخالي من الأكسجين (أو الألومنيوم والمواد الأخرى) قبل الرش، بحيث تكون التوصيل الحراري للهدف والهيكل جيدًا أثناء عملية الرش. بعد الربط، يجب إجراء الفحص بالموجات فوق الصوتية للتأكد من أن منطقة عدم الربط للاثنين أقل من 2%، وذلك لتلبية متطلبات الاخرق عالي الطاقة دون السقوط.