تطبيق الهدف الاخرق رقاقة أشباه الموصلات

يمكن لشركة Rich Special Material Co., Ltd. إنتاج أهداف رش الألومنيوم عالية النقاء، وأهداف رش النحاس، وأهداف رش التنتالوم، وأهداف رش التيتانيوم، وما إلى ذلك لصناعة أشباه الموصلات.

تتمتع رقائق أشباه الموصلات بمتطلبات فنية عالية وأسعار مرتفعة لأهداف الرش. إن متطلباتهم من حيث نقاء وتقنية أهداف الرش أعلى من تلك الخاصة بشاشات العرض المسطحة والخلايا الشمسية والتطبيقات الأخرى. تضع رقائق أشباه الموصلات معايير صارمة للغاية بشأن النقاء والبنية المجهرية الداخلية لأهداف الرش. إذا كان محتوى الشوائب لهدف الرش مرتفعًا جدًا، فإن الفيلم المتكون لا يمكنه تلبية الخصائص الكهربائية المطلوبة. في عملية الرش، من السهل تشكيل جزيئات على الرقاقة، مما يؤدي إلى حدوث ماس كهربائي أو تلف الدائرة، مما يؤثر بشكل خطير على أداء الفيلم. بشكل عام، مطلوب أعلى هدف نقاء الاخرق لتصنيع الرقائق، والذي عادة ما يكون 99.9995% (5N5) أو أعلى.

تُستخدم أهداف الرش لتصنيع طبقات الحاجز وتغليف طبقات الأسلاك المعدنية. في عملية تصنيع الرقاقة، يتم استخدام الهدف بشكل أساسي لتصنيع الطبقة الموصلة والطبقة الحاجزة والشبكة المعدنية للرقاقة. في عملية تعبئة الرقائق، يتم استخدام هدف الرش لتوليد طبقات معدنية وطبقات أسلاك ومواد معدنية أخرى تحت المطبات. على الرغم من أن كمية المواد المستهدفة المستخدمة في تصنيع الرقائق وتغليف الرقائق صغيرة، وفقًا لإحصائيات SEMI، فإن تكلفة المواد المستهدفة في عملية تصنيع الرقائق وتعبئتها تمثل حوالي 3٪. ومع ذلك، فإن جودة هدف الاخرق تؤثر بشكل مباشر على توحيد وأداء الطبقة الموصلة والطبقة الحاجزة، مما يؤثر على سرعة النقل واستقرار الشريحة. ولذلك، فإن الهدف الاخرق هو أحد المواد الخام الأساسية لإنتاج أشباه الموصلات