የሽፋን ዒላማ ቁሳቁስ ባህሪያት እና ቴክኒካዊ መርሆዎች ምንድ ናቸው

በተሸፈነው ዒላማ ላይ ያለው ቀጭን ፊልም ልዩ የቁሳቁስ ቅርጽ ነው. በተወሰነው ውፍረት አቅጣጫ, ልኬቱ በጣም ትንሽ ነው, ይህም በአጉሊ መነጽር የሚለካ መጠን ነው. በተጨማሪም በፊልም ውፍረት መልክ እና በይነገጽ ምክንያት የቁሳቁስ ቀጣይነት ያበቃል, ይህም የፊልም መረጃ እና የዒላማው መረጃ የተለያዩ የጋራ ባህሪያት እንዲኖራቸው ያደርጋል.እና ኢላማው በዋናነት የማግኔትሮን ስፖንሰር ሽፋን መጠቀም ነው, የቤጂንግ ሪችማት ኤዲተር እንድንረዳ ይወስደናል. የመርጨት ሽፋን መርህ እና ችሎታ።

　　一፣ የመርጨት ሽፋን መርህ

የመቀባት ክህሎት ion shelling ዒላማ ገጽታን መጠቀም ነው፣ የታለመው አተሞች መትፋት ተብሎ ከሚታወቀው ክስተት ውጪ ናቸው። በመሬቱ ላይ የተቀመጡት አተሞች ስፒተር ሽፋን ይባላሉ።በአጠቃላይ ጋዝ ionization የሚመነጨው በጋዝ ፈሳሽ ሲሆን አወንታዊዎቹ ionዎች የካቶድ ኢላማውን በከፍተኛ ፍጥነት በኤሌክትሪክ መስክ በቦምብ ያፈነዱታል፣ ይህም የአተሞችን ወይም ሞለኪውሎችን በመምታት ነው። ካቶድ ኢላማ ፣ እና ወደ ንጣፉ ወለል ላይ በመብረር ወደ ፊልም ለማስቀመጥ። በቀላል አነጋገር ፣ የሚረጭ ሽፋን ለማመንጨት ዝቅተኛ ግፊት ያለው የማይነቃነቅ ጋዝ ፍካት ይጠቀማል። ions.

በአጠቃላይ የስፖንሰር ፊልም ማቀፊያ መሳሪያዎች በሁለት ኤሌክትሮዶች በቫኩም ማስወጫ ክፍል ውስጥ የተገጠሙ ሲሆን የካቶድ ኢላማው ሽፋን መረጃን ያካተተ ነው. የቫኩም ክፍሉ በአርጎን ጋዝ በ 0.1 ~ 10Pa ግፊት ተሞልቷል. ፍካት መልቀቅ በካቶድ ላይ የሚከሰተው አሉታዊ ከፍተኛ ቮልቴጅ 1 ~ 3 ኪሎ ቮልት ዲሲ ወይም RF ቮልቴጅ 13.56mhz.አርጎን አየኖች የዒላማውን ወለል ቦምብ በማድረግ እና የተበተኑት ኢላማ አተሞች በመሬት ላይ እንዲከማቹ ያደርጋል።

　　二፣ የመተጣጠፍ ሽፋን ችሎታ ባህሪያት

1. ፈጣን የመቆለል ፍጥነት

በከፍተኛ ፍጥነት ማግኔትሮን የሚረጭ ኤሌክትሮድ እና በባህላዊው ሁለት ደረጃ የሚረጭ ኤሌክትሮድ ያለው ልዩነት ማግኔቱ ከዒላማው በታች የተደረደረ በመሆኑ የተዘጋው ያልተስተካከለ መግነጢሳዊ መስክ በዒላማው ላይ ይከሰታል።በኤሌክትሮኖች ላይ ያለው የሎረንትዝ ኃይል ወደ መሃል ነው። የ heterogeneous መግነጢሳዊ መስክ. በማተኮር ተጽእኖ ምክንያት ኤሌክትሮኖች በትንሹ ያመልጣሉ. የተለያየ መግነጢሳዊ መስክ በዒላማው ወለል ዙሪያ ይሄዳል እና በሁለተኛ ደረጃ የተያዙት ኤሌክትሮኖች ከጋዝ ሞለኪውሎች ጋር በተደጋጋሚ ይጋጫሉ, ይህም የጋዝ ሞለኪውሎችን ከፍተኛ የመለወጥ ፍጥነት ያሻሽላል.ስለዚህ ከፍተኛ ፍጥነት ያለው የማግኔትሮን መትፋት አነስተኛ ኃይልን ይጠቀማል, ነገር ግን ጥሩ የመልቀቂያ ባህሪያት ያለው ጥሩ የሽፋን ቅልጥፍናን ማግኘት ይችላል.

2, የ substrate ሙቀት ዝቅተኛ ነው

ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ማግኔትሮን መትፋት፣ ዝቅተኛ የሙቀት መጠን መትፋት በመባልም ይታወቃል። ምክንያቱ መሳሪያው እርስ በርስ በሚገናኙ የኤሌክትሮማግኔቲክ መስኮች ውስጥ ፈሳሾችን ይጠቀማል. በዒላማው ውጫዊ ክፍል ላይ የሚከሰቱት ሁለተኛ ደረጃ ኤሌክትሮኖች እርስ በእርሳቸው. በቀጥታ የኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ በሚሰራው ተግባር ከዒላማው ወለል አጠገብ ታስሮ በመሮጫ መንገዱ ላይ በክበብ በሚሽከረከር መስመር ይንቀሳቀሳል ፣በተደጋጋሚ የጋዝ ሞለኪውሎችን በማንኳኳት የጋዝ ሞለኪውሎችን ionize ለማድረግ ። አንድ ላይ ኤሌክትሮኖች ራሳቸው ቀስ በቀስ ጉልበታቸውን ያጣሉ ፣ ተደጋጋሚ እብጠቶች ፣ ጉልበታቸው ከሞላ ጎደል ሙሉ በሙሉ እስኪጠፋ ድረስ ከመሬት በታች ካለው ዒላማው ገጽ ላይ ማምለጥ ይችላሉ። የኤሌክትሮኖች ኃይል በጣም ዝቅተኛ ስለሆነ የዒላማው ሙቀት በጣም ከፍ አይልም. ይህ በተራ ዳይኦድ ሾት ከፍተኛ ኃይል ባለው ኤሌክትሮን ቦምብ ምክንያት የሚፈጠረውን የሙቀት መጨመር ለመቋቋም በቂ ነው፣ ይህም ክሪዮጅንዜሽንን ያጠናቅቃል።

3, ሽፋን መዋቅር ሰፊ ክልል

በቫኩም ትነት እና በመርፌ መወጋት የተገኙ የቀጭን ፊልሞች አወቃቀሩ ቀጭን የጅምላ ጠጣር ከሚገኘው ፈጽሞ የተለየ ነው። በሦስት ገጽታዎች ውስጥ በመሠረቱ ተመሳሳይ መዋቅር ተብለው ከተመደቡ በአጠቃላይ አሁን ካለው ጠጣር በተቃራኒ በጋዝ ደረጃ ውስጥ የተቀመጡት ፊልሞች እንደ የተለያዩ መዋቅሮች ይመደባሉ ቀጭን ፊልሞች አምድ ናቸው እና ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕን በመፈተሽ ሊመረመሩ ይችላሉ. የፊልም ዓምዳዊ እድገት የሚከሰተው በመነሻው የከርሰ ምድር ወለል እና በዋና ዋናዎቹ ክፍሎች ውስጥ ባሉት ጥቂት ጥላዎች ምክንያት ነው። ነገር ግን የአምዱ ቅርፅ እና መጠን በንዑስ ፕላስተር ሙቀት፣ በተደራረቡ አተሞች ወለል ላይ መበተን ፣ የንፁህ አተሞች መቅበር እና የተከሰቱት የአተሞች አንግል ከመሬት በታች ወለል አንፃር በጣም የተለያዩ ናቸው። ከመጠን በላይ በሆነ የሙቀት ክልል ውስጥ, ቀጭን ፊልም ፋይበር መዋቅር አለው, ከፍተኛ ጥግግት, ጥሩ columnar ክሪስታሎች ያቀፈ ነው, ይህም sputtering ፊልም ልዩ መዋቅር ነው.

የመተጣጠፍ ግፊት እና የፊልም መደራረብ ፍጥነት እንዲሁ በፊልሙ መዋቅር ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል። የጋዝ ሞለኪውሎች በንጣፉ ወለል ላይ የአተሞች ስርጭትን በመጨፍለቅ ተጽእኖ ስለሚያሳድሩ, ከፍተኛ የመርከስ ግፊት ተጽእኖ በአምሳያው ውስጥ ላለው የሙቀት መጠን መቀነስ ተስማሚ ነው. ስለዚህ, ጥሩ ጥራጥሬዎችን የሚያካትቱ የተቦረቦሩ ፊልሞች በከፍተኛ የጭረት ግፊት ሊገኙ ይችላሉ. ይህ ትንሽ የእህል መጠን ያለው ፊልም ለማቅለሚያ, ለመልበስ መቋቋም, የገጽታ ማጠንከሪያ እና ሌሎች ሜካኒካል መተግበሪያዎች ተስማሚ ነው.

4. ጥንቅርን በእኩል ደረጃ ያዘጋጁ

ውህዶች፣ ውህዶች፣ ውህዶች፣ ወዘተ በቫኩም ትነት ለመሸፈን በጣም አስቸጋሪ የሆኑት የንጥረቶቹ የእንፋሎት ግፊቶች ስለሚለያዩ ወይም በሚሞቁበት ጊዜ ስለሚለያዩ ነው። ለስርዓተ-ፆታ, ከዚህ አንፃር የበለጠ ፍጹም የሆነ የፊልም ስራ ችሎታ ነው. በኢንዱስትሪ ሽፋን ምርት ውስጥ ሁሉንም ዓይነት ቁሳቁሶች በመርጨት መጠቀም ይቻላል.